基于频率特征的薄膜损伤声学识别技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| ·光学薄膜的常见损伤判别方法 | 第9-12页 |
| ·光学薄膜损伤阈值测试方法 | 第12-13页 |
| ·本文的创新点和主要内容 | 第13-15页 |
| ·本文的创新点 | 第13-14页 |
| ·本文的主要内容 | 第14-15页 |
| 2 激光与薄膜相作用的致声机理 | 第15-22页 |
| ·光学薄膜的热吸收 | 第15-16页 |
| ·光学薄膜热膨胀和气化的致声机理 | 第16-17页 |
| ·激光诱导光学薄膜等离子体的产生及声波的形成 | 第17-21页 |
| ·等离子体的性质 | 第17页 |
| ·激光诱导薄膜等离子体的产生 | 第17-18页 |
| ·等离子体声波的形成 | 第18-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 声波采集与分析技术 | 第22-31页 |
| ·声波信号的采集 | 第22-26页 |
| ·声波的物理特性 | 第22-23页 |
| ·声波的采集环境 | 第23页 |
| ·传声器的种类 | 第23-24页 |
| ·传声器的参数 | 第24-25页 |
| ·测量传声器的选择 | 第25-26页 |
| ·声波信号的分析方法 | 第26-30页 |
| ·声波的时域分析 | 第26-27页 |
| ·声波的频域分析 | 第27-29页 |
| ·时频分析法 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 光学薄膜损伤测试和声波采集系统装置 | 第31-39页 |
| ·实验装置 | 第31页 |
| ·薄膜损伤测试系统 | 第31-33页 |
| ·声波信号采集系统 | 第33-38页 |
| ·声波信号的采集方式 | 第33-35页 |
| ·声波信号的处理方法 | 第35-37页 |
| ·声波信号采集前的准备工作 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 实验结果及数据分析 | 第39-59页 |
| ·激光作用下的SiO_2薄膜测试结果 | 第39-45页 |
| ·实验结果分析前需解决的两个问题 | 第45-47页 |
| ·SiO_2薄膜的测试结果分析 | 第47-48页 |
| ·基于matlab带通滤波器的设计 | 第48-50页 |
| ·SiO_2薄膜损伤的判据 | 第50-53页 |
| ·与相衬显微镜法比较 | 第53-54页 |
| ·激光作用下的HfO_2薄膜的实验结果及其分析 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 结论与展望 | 第59-62页 |
| ·结论 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
