新结构垂直腔面发射激光器热特性及工艺研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-12页
·引言	第7-8页
·垂直腔面发射激光器的发展历史	第8页
·垂直腔面发射激光器的发展现状和趋势	第8-9页
·垂直腔面发射激光器的应用	第9-11页
·本论文的主要工作	第11-12页
第二章 VCSEL相关理论分析	第12-20页
·VCESL热效应产生机理	第12-15页
·热效应对VCSEL性能的影响	第15-18页
·VCSEL内部热分析模型	第18-20页
第三章 新型结构垂直腔面发射激光器的设计	第20-24页
·外延片结构的设计	第20-21页
·电极结构的设计	第21-24页
第四章 基于ANSYS有限元热分析软件的模拟	第24-37页
·不同电极结构对器件热特性的影响	第24-32页
·不同焊料对器件热应力影响的模拟	第32-35页
·不同热沉对器件热应力影响的模拟	第35-37页
第五章 垂直腔面发射激光器制作工艺研究	第37-51页
·光刻工艺	第37-41页
·刻蚀	第41-44页
·选择氧化	第44-47页
·减薄抛光	第47-48页
·欧姆接触	第48-50页
·器件测试	第50-51页
结论	第51-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-54页