| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-26页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第17-18页 |
| ·压电陶瓷微位移器的应用 | 第18-20页 |
| ·压电陶瓷微位移器驱动电源研究现状 | 第20-22页 |
| ·电流（电荷）控制型电源 | 第20-21页 |
| ·电压控制型电源 | 第21-22页 |
| ·国内外压电陶瓷微位移器驱动电源现状 | 第22-24页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第24-26页 |
| ·课题来源 | 第24-25页 |
| ·主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 压电陶瓷驱动电源整体结构设计方案 | 第26-31页 |
| ·压电陶瓷驱动电源设计要求及技术指标 | 第26页 |
| ·驱动电源整体结构设计方案 | 第26-30页 |
| ·驱动电源整体架构 | 第26-29页 |
| ·上位机设计概述 | 第29-30页 |
| ·串口通信协议概述 | 第30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 压电陶瓷驱动电源硬件电路设计 | 第31-51页 |
| ·驱动电源硬件电路整体结构 | 第31-32页 |
| ·微处理器控制电路 | 第32-33页 |
| ·虚拟 USB 接口电路 | 第33-34页 |
| ·直流稳压电源 | 第34-38页 |
| ·5V 外接电源模块设计 | 第34-35页 |
| ·+/-15V 直流稳压电源模块设计 | 第35页 |
| ·+/-144V 直流稳压电源模块设计 | 第35-37页 |
| ·2.5V 基准电压源模块设计 | 第37-38页 |
| ·D/A 转换电路模块 | 第38-41页 |
| ·AD5660 转换电路 | 第38-40页 |
| ·AD5660 电压输出调理 | 第40-41页 |
| ·交流电压产生 DDS 模块 | 第41-43页 |
| ·DDS 模块转换电路 | 第41-42页 |
| ·DDS 模块电压输出调理 | 第42页 |
| ·DDS 模块输出电压幅度调理 | 第42-43页 |
| ·线性放大模块 | 第43-46页 |
| ·使用两级运放放大的原因 | 第44-45页 |
| ·线性放大模块两级增益的分配及相位补偿 | 第45-46页 |
| ·电压采集模块 | 第46-48页 |
| ·AD7707 的内部结构和特性 | 第46-47页 |
| ·电压采集电路 | 第47-48页 |
| ·人机交互模块设计 | 第48-49页 |
| ·驱动电源电路板实物 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动电源软件设计 | 第51-67页 |
| ·上位机界面设计 | 第51页 |
| ·下位机软件设计 | 第51-66页 |
| ·下位机系统软件总流程 | 第52页 |
| ·微处理器 LPC2194 初始化 | 第52-53页 |
| ·虚拟 USB 通信软件设计 | 第53-55页 |
| ·SPI 通信模块简介 | 第55-56页 |
| ·D/A 转换软件设计 | 第56-58页 |
| ·交流电压产生 DDS 模块软件设计 | 第58-60页 |
| ·交流电压幅值调节软件设计 | 第60-62页 |
| ·电压采集模块软件设计 | 第62-65页 |
| ·人机交互模块软件设计 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 实验数据处理与分析 | 第67-78页 |
| ·驱动电源的标定 | 第67-72页 |
| ·驱动电源的线性度实验 | 第67-69页 |
| ·驱动电源的稳定性实验 | 第69-70页 |
| ·压电陶瓷微位移器在驱动电源作用下的重复性实验 | 第70-72页 |
| ·驱动电源的纹波和频响实验 | 第72-76页 |
| ·驱动电源的纹波实验 | 第72-73页 |
| ·驱动电源的频率响应实验 | 第73-76页 |
| ·压电陶瓷微位移器及其驱动电源在相移干涉测量中的应用 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 总结与展望 | 第78-79页 |
| ·总结 | 第78页 |
| ·展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 附录 1：驱动电源线性度实验测试数据 | 第82-83页 |
| 附录 2：驱动电源线性度实验测试数据（续） | 第83-84页 |
| 附录 3：驱动电源线性度实验测试数据（续） | 第84-85页 |
| 附录 4：驱动电源重复性实验测试数据 | 第85-86页 |
| 附录 5：驱动电源重复性实验测试数据（续） | 第86-87页 |
| 附录 6：驱动电源重复性实验测试数据（续） | 第87-88页 |
| 攻读硕士学位期间学术活动及成果情况 | 第88-89页 |