| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-25页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·纳米复合膜 | 第13-15页 |
| ·纳米复合膜研究现状与进展 | 第13-14页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理 | 第14-15页 |
| ·纳米多层膜 | 第15-17页 |
| ·纳米多层膜的研究现状与进展 | 第15页 |
| ·纳米多层膜的超硬机理 | 第15-17页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能研究 | 第17-23页 |
| ·摩擦 | 第17-19页 |
| ·磨损 | 第19-22页 |
| ·摩擦磨损过程 | 第22-23页 |
| ·选题意义及研究内容 | 第23-25页 |
| ·选题意义 | 第23页 |
| ·研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第25-31页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·薄膜的制备方法与实验设备 | 第25-27页 |
| ·薄膜的制备原理 | 第25-26页 |
| ·薄膜的制备设备 | 第26页 |
| ·镀膜基片的处理方法 | 第26-27页 |
| ·薄膜的表征方法和表征设备 | 第27-31页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第27页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第27-28页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第28页 |
| ·能量色散谱仪（EDS） | 第28-29页 |
| ·纳米力学综合测试系统 | 第29-30页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第30-31页 |
| 第3章 不同制备工艺对 TaN 薄膜微结构和性能的影响 | 第31-48页 |
| ·负偏压对 TaN 薄膜微结构及性能的影响 | 第31-42页 |
| ·实验材料及方法 | 第31-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-42页 |
| ·Ar:N_2比对 TaN 薄膜微结构和性能的影响 | 第42-46页 |
| ·实验材料及方法 | 第42-43页 |
| ·实验结果与讨论 | 第43-46页 |
| ·结论 | 第46-48页 |
| 第4章 TaVN 复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能 | 第48-59页 |
| ·实验材料及方法 | 第48-49页 |
| ·薄膜制备 | 第48-49页 |
| ·薄膜表征 | 第49页 |
| ·实验结果与讨论 | 第49-57页 |
| ·微结构 | 第49-51页 |
| ·力学性能 | 第51-52页 |
| ·室温摩擦性能 | 第52-54页 |
| ·高温摩擦性能 | 第54-57页 |
| ·结论 | 第57-59页 |
| 第5章 TaMoN 复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能 | 第59-71页 |
| ·实验材料及方法 | 第59-60页 |
| ·薄膜制备 | 第59-60页 |
| ·薄膜表征 | 第60页 |
| ·实验结果与讨论 | 第60-69页 |
| ·成分与微结构 | 第60-62页 |
| ·力学性能 | 第62-63页 |
| ·常温摩擦性能 | 第63-67页 |
| ·高温摩擦性能 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第69-71页 |
| 第6章 TaN/VN 多层膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能 | 第71-82页 |
| ·实验材料及方法 | 第71-72页 |
| ·薄膜制备 | 第71-72页 |
| ·薄膜表征 | 第72页 |
| ·实验结果与讨论 | 第72-80页 |
| ·微结构 | 第72-73页 |
| ·力学性能 | 第73-75页 |
| ·常温摩擦磨损性能 | 第75-80页 |
| ·结论 | 第80-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第93页 |
