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Si,Ni,Ti掺杂类金刚石薄膜的制备及摩擦学性能研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-24页
   ·类金刚石薄膜的组成、分类和结构第10-12页
   ·类金刚石薄膜的性能和应用第12-14页
   ·类金刚石薄膜的制备方法第14-19页
   ·选题依据及研究内容第19-20页
 参考文献第20-24页
2 SiO_2/DLC 复合薄膜的制备及摩擦学性能研究第24-44页
   ·引言第24页
   ·实验部分第24-26页
     ·实验原料和仪器第24-25页
     ·实验步骤第25页
     ·表征技术第25-26页
   ·结果与讨论第26-39页
     ·透射电子显微镜(TEM)分析第26-27页
     ·X-射线光电子能谱(XPS)分析第27-29页
     ·红外能谱(FTIR)分析第29页
     ·拉曼光谱(Raman)分析第29-30页
     ·原子力显微镜(AFM)分析第30-32页
     ·表面浸润性分析第32-35页
     ·摩擦学行为分析第35-39页
   ·沉积机理分析第39-40页
   ·小结第40-41页
 参考文献第41-44页
3 Ni-DLC 复合薄膜的制备和摩擦学性能研究第44-54页
   ·引言第44页
   ·实验部分第44-45页
     ·实验原料和仪器第44页
     ·实验步骤第44-45页
     ·表征技术第45页
   ·结果与讨论第45-52页
     ·透射电子显微镜(TEM)分析第45-46页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)分析第46-48页
     ·Raman 光谱分析第48-49页
     ·红外图谱(FTIR)分析第49-50页
     ·摩擦学性能分析第50-52页
   ·本章小结第52-53页
 参考文献第53-54页
4 TiO_2-DLC 复合薄膜的制备及摩擦学性能研究第54-62页
   ·引言第54页
   ·实验部分第54-55页
     ·实验原料和仪器第54页
     ·实验步骤第54-55页
     ·表征技术第55页
   ·结果与讨论第55-60页
     ·透射电子显微镜(TEM)分析第55-56页
     ·X 射线光电子能谱(XPS)分析第56-57页
     ·扫描电镜(SEM)分析第57-58页
     ·浸润性分析第58-59页
     ·摩擦学性能分析第59-60页
   ·本章小结第60-61页
 参考文献第61-62页
5 结论第62-64页
硕士期间发表及完成论文第64-66页
致谢第66-67页

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