管式真空提纯炉的结构设计及节能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·管式真空炉的概述 | 第10-12页 |
| ·多晶硅提纯的研究现状 | 第12-13页 |
| ·管式真空炉国内外现阶段研究现状 | 第13-15页 |
| ·真空提纯炉的分类和比较 | 第15-16页 |
| ·外热式真空电阻炉 | 第15-16页 |
| ·内热式真空电阻炉 | 第16页 |
| ·本课题的目的和意义 | 第16-18页 |
| ·本课题研究的目的 | 第16页 |
| ·本课题研究的意义 | 第16-18页 |
| 2 管式真空炉的结构设计 | 第18-38页 |
| ·管式真空炉的基本要求 | 第18-19页 |
| ·炉膛材料的选择 | 第19页 |
| ·料盘和滑块 | 第19-20页 |
| ·功率的确定 | 第20-21页 |
| ·电热元件的选择 | 第21-25页 |
| ·炉衬结构 | 第25-26页 |
| ·炉壳厚度 | 第26-27页 |
| ·炉塞的设计 | 第27-28页 |
| ·温控系统 | 第28-32页 |
| ·热电偶 | 第29-31页 |
| ·PID 温度控制 | 第31-32页 |
| ·真空系统的构成 | 第32-38页 |
| ·管式真空炉的真空系统介绍 | 第32-33页 |
| ·真空系统的主要参数 | 第33-35页 |
| ·真空系统的设计计算 | 第35-36页 |
| ·真空密封 | 第36-38页 |
| 3 管式真空炉的数值模拟 | 第38-48页 |
| ·ANSYS 简介 | 第38页 |
| ·热分析模块 | 第38-40页 |
| ·ANSYS 热分析的分类 | 第38-39页 |
| ·热量传递的三种方式 | 第39-40页 |
| ·ANSYS 的边界条件和初始条件 | 第40页 |
| ·ANSYS 热分析的步骤 | 第40页 |
| ·基于 ANSYS 的炉衬材料温度场分析 | 第40-45页 |
| ·沿长度方向的模拟 | 第41-43页 |
| ·截面方向的模拟 | 第43-45页 |
| ·对结构的改造的分析 | 第45-48页 |
| 4 热平衡分析 | 第48-56页 |
| ·理论基础 | 第48-49页 |
| ·建立的热平衡模型 | 第49-50页 |
| ·热平衡计算 | 第50-52页 |
| ·分析节能潜力及其分布 | 第52-53页 |
| ·提出优化方案 | 第53-56页 |
| 5 总结 | 第56-58页 |
| ·全文小结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及获得的发明专利 | 第62-64页 |
| 附录 A：ANSYS 热分析的命令流文件 I | 第64-66页 |
| 附录 B：ANSYS 热分析的命令流文件 II | 第66-72页 |
