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掺杂As2S8的光致折射率制备条波导的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 绪论第8-12页
 §1.1 引言第8-9页
 §1.2 硫系非晶态半导体简介第9-10页
 §1.3 本课题的意义和研究内容第10-12页
第二章 光波导基础理论第12-28页
 §2.1 平面光波导理论第12-21页
  §2.1.1 波动方程第12-15页
  §2.1.2 模式分类讨论第15-20页
  §2.1.3 平面波导本征模第20-21页
 §2.2 棱镜耦合实验方法第21-28页
  §2.2.1 棱镜耦合原理第21-23页
  §2.2.2 棱镜耦合法测薄膜折射率和厚度第23-28页
第三章 掺锡As_2S_8非晶态薄膜波导的制备第28-34页
 §3.1 材料的制备第28-29页
 §3.2 薄膜的制备第29-32页
 §3.3 薄膜参数测试第32-34页
第四章 掺锡As_2S_8的光阻断恢复响应特性及分析第34-48页
 §4.1 实验装置第34-35页
 §4.2 Sn_1As_(20)S_(79)样品的光谱第35-36页
 §4.3 光阻断效应的恢复响应特性第36-38页
  §4.3.1 完全截止的恢复响应特性第36-37页
  §4.3.2 未完全截止的恢复响应特性第37页
  §4.3.3 辅助光影响下的恢复响应特性第37-38页
 §4.4 恢复响应的机理分析与理论模型初探第38-48页
第五章 掺锡As_2S_8薄膜的光折变特性第48-56页
 §5.1 实验装置第48-49页
 §5.2 沉积态薄膜的光折变和光致体积变化特性第49-50页
 §5.3 退火态薄膜的光致折射率变化特性第50-53页
  §5.3.1 薄膜的折射率和体积变化与退火温度的关系第50-51页
  §5.3.2 退火态薄膜的完全可逆光折变效应第51-52页
  §5.3.3 退火态薄膜的不可逆光折变效应第52-53页
 §5.4 光饱和态薄膜的退火特性第53-56页
第六章 掺锡As_2S_8条波导制备第56-58页
 §6.1 掺锡As_2S_8条波导制备工艺第56-57页
 §6.2 条波导试制和导波实验第57-58页
第七章 总结第58-60页
参考文献第60-64页
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果第64-66页
致谢第66页

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