APCVD法生长ZnO单晶和薄膜

致谢	第1-6页
中文摘要	第6-7页
ABSTRACT	第7-12页
第1章 引言	第12-38页
·ZnO的基本性质	第13-18页
·ZnO的晶体结构和物化性质	第13-15页
·ZnO的电学性质	第15-16页
·ZnO的光学性质	第16-17页
·ZnO的稀磁半导体特性	第17-18页
·ZnO的压电特性	第18页
·ZnO的主要应用	第18-22页
·ZnO可作为GaN和自身的外延衬底	第18页
·ZnO在紫外发光方面的应用	第18-20页
·ZnO在紫外探测方面的应用	第20-21页
·ZnO在声表面波器件方面的应用	第21页
·ZnO在气体探测方面的应用	第21-22页
·ZnO的生长现状	第22-28页
·ZnO单晶的生长现状	第22-26页
·ZnO薄膜的生长现状	第26-28页
·论文选题意义及研究内容	第28-30页
参考文献	第30-38页
第2章 APCVD系统调控ZnO晶体的生长	第38-66页
·晶体生长的三种模式	第38-40页
·APCVD系统的构成与优点	第40-41页
·APCVD系统的构成	第40-41页
·APCVD系统的优点	第41页
·APCVD生长ZnO晶体的操作流程	第41-42页
·ZnO晶体形貌的调控	第42-61页
·不同温度对ZnO晶体形貌的影响	第43-46页
·不同衬底对ZnO晶体形貌的影响	第46-49页
·不同HCl流量对ZnO晶体形貌的影响	第49-53页
·不同NH_3流量对ZnO晶体形貌的影响	第53-57页
·不同H_2O浓度对ZnO晶体形貌的影响	第57-59页
·不同结晶位置对ZnO晶体形貌的影响	第59-61页
·小结	第61-63页
参考文献	第63-66页
第3章 ZnO单晶体的生长与性能研究	第66-90页
·在Al_2O_3衬底上生长ZnO单晶体	第66-73页
·ZnO单晶体的生长与形貌	第66-69页
·ZnO单晶体的性能	第69-72页
·ZnO单晶体的长时间生长	第72-73页
·六角形ZnO晶体的生长机理	第73-78页
·ZnO单晶体的三次连续生长	第73-76页
·三次生长的ZnO单晶体的性能	第76-77页
·ZnO单晶体的外延机理	第77-78页
·高密度六角ZnO晶体的生长和性能	第78-84页
·高密度六角ZnO晶体的生长	第78-82页
·高密度六角ZnO晶体的性能	第82-84页
·腔壁上的ZnO晶体	第84-85页
·小结	第85-87页
参考文献	第87-90页
第4章 ZnO纳米结构薄膜的生长与性能研究	第90-110页
·典型纳米ZnO晶体的生长和特征	第91-93页
·典型纳米ZnO晶体的生长	第91页
·典型纳米ZnO晶体的形貌特征	第91-93页
·纳米墙ZnO薄膜的生长和性能研究	第93-101页
·纳米墙ZnO薄膜的生长	第93页
·纳米墙ZnO薄膜的形貌特征	第93-97页
·纳米墙ZnO薄膜的XRD分析	第97-98页
·纳米墙ZnO薄膜的生长机理探讨	第98-100页
·纳米墙ZnO薄膜的吸收光谱	第100-101页
·纳米孔ZnO薄膜的生长和性能研究	第101-107页
·纳米孔ZnO薄膜的生长	第102页
·纳米孔ZnO薄膜的形貌特征	第102-105页
·纳米孔ZnO薄膜的性能分析	第105-106页
·纳米孔ZnO薄膜的生长机理	第106-107页
·小结	第107-108页
参考文献	第108-110页
第5章 ZnO连续薄膜的生长与性能研究	第110-124页
·ZnO连续薄膜的生长调整	第110-116页
·ZnO连续薄膜的生长	第110页
·ZnO连续薄膜的形貌	第110-114页
·ZnO连续薄膜的XRD	第114-116页
·ZnO连续薄膜的表面优化	第116-119页
·表面优化的生长条件	第116-117页
·ZnO连续薄膜优化后的表面	第117-119页
·ZnO连续薄膜的生长模式	第119-120页
·小结	第120-122页
参考文献	第122-124页
第6章 结论	第124-126页
作者简介	第126-130页
学位论文数据集	第130页