基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块的工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题研究的背景 | 第9-10页 |
| ·微注塑模具型腔制造的研究现状 | 第10-14页 |
| ·UV-LIGA技术在微模具型腔制造中的研究现状 | 第14-18页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 UV-LIGA工艺研究 | 第20-36页 |
| ·光刻工艺研究 | 第20-21页 |
| ·光刻胶及其特性 | 第21-22页 |
| ·RZJ-304正型光刻胶 | 第22-24页 |
| ·RZJ-3043工艺过程研究 | 第22-23页 |
| ·RZJ-304的工艺参数 | 第23-24页 |
| ·SU-8负型光刻胶 | 第24-28页 |
| ·SU-8工艺过程研究 | 第24页 |
| ·SU-8光刻工艺参数的研究 | 第24-28页 |
| ·微电铸工艺研究 | 第28-32页 |
| ·原理 | 第28-29页 |
| ·镀液的成分及作用 | 第29-30页 |
| ·工艺条件对微电铸的影响分析 | 第30-32页 |
| ·SU-8胶的热溶胀效应 | 第32页 |
| ·正交实验研究 | 第32-35页 |
| ·正交实验的概念 | 第33页 |
| ·正交表 | 第33页 |
| ·正交实验的方案和结果 | 第33-34页 |
| ·正交实验的直观分析 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 双层微齿轮型腔的设计及制作方案 | 第36-45页 |
| ·基底材料的选取 | 第37-38页 |
| ·双层齿轮型腔的结构设计 | 第38页 |
| ·双层齿轮型腔工艺过程的制定 | 第38-40页 |
| ·ITO玻璃上镍掩膜图形的制作 | 第38-39页 |
| ·双层齿轮型腔的制作流程 | 第39-40页 |
| ·光学掩膜的设计与制作 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 双层微齿轮模具镶块的实验研究 | 第45-63页 |
| ·实验设备 | 第45页 |
| ·实验材料与试剂 | 第45页 |
| ·SU-82075工艺参数的研究 | 第45-51页 |
| ·涂胶厚度与转速的关系 | 第45-47页 |
| ·单层SU-82075的工艺参数优化 | 第47-49页 |
| ·ITO导电玻璃上的微电铸研究 | 第49-51页 |
| ·镍掩膜图形的制作 | 第51-53页 |
| ·SU-8双层齿轮型腔镶块的制备 | 第53-54页 |
| ·实验中的主要问题与解决方案 | 第54-62页 |
| ·SU-8胶的气泡问题 | 第54-55页 |
| ·涂胶问题 | 第55-56页 |
| ·SU-8胶与基底的结合性问题 | 第56页 |
| ·边缘水珠效应问题 | 第56-57页 |
| ·前烘问题 | 第57-58页 |
| ·曝光和套刻对准的问题 | 第58-59页 |
| ·后烘问题 | 第59页 |
| ·胶层显影脱落现象 | 第59页 |
| ·SU-8胶的去除 | 第59页 |
| ·电镀问题 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 结论与展望 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文情况 | 第71页 |
