基于热汽泡驱动的MEMS无阀微泵数值研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 主要符号表 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| ·课题背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究综述 | 第12-18页 |
| ·微机电系统研究背景 | 第12页 |
| ·微流体系统驱动方式分类 | 第12-16页 |
| ·无阀微泵发展现状 | 第16-18页 |
| ·热汽泡驱动无阀微泵实现的可行性 | 第18页 |
| ·研究目的及研究内容 | 第18-20页 |
| ·研究目的 | 第18-19页 |
| ·研究内容 | 第19-20页 |
| 2 热汽泡驱动无阀微泵数值模拟的数学物理模型 | 第20-26页 |
| ·热汽泡驱动无阀微泵的工作原理 | 第20页 |
| ·无阀泵的流量预估 | 第20-21页 |
| ·相变条件下的控制方程及 VOF 模型 | 第21-24页 |
| ·连续性方程 | 第22页 |
| ·动量方程 | 第22页 |
| ·能量方程 | 第22-23页 |
| ·连续变形 CTT 模型 | 第23页 |
| ·连续表面张力模型（CSF） | 第23-24页 |
| ·相变问题的质量、能量传递 | 第24-26页 |
| ·相变质量传递 | 第24-25页 |
| ·相变能量传递 | 第25-26页 |
| 3 热汽泡驱动无阀微泵模拟 | 第26-39页 |
| ·几何模型 | 第26-27页 |
| ·数值方法 | 第27页 |
| ·与已有实验模拟验证 | 第27-29页 |
| ·不同扩张角度对微泵流量及压力的影响 | 第29-30页 |
| ·微泵进口/出口流动特性分析 | 第30-32页 |
| ·不同加热功率对微泵流量的影响 | 第32-34页 |
| ·驱动腔厚度对微泵流量的影响 | 第34-36页 |
| ·汽泡形态演变及其对泵送流量的影响 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 不同加热模式对无阀微泵特性影响的分析 | 第39-48页 |
| ·几何模型 | 第39页 |
| ·不同加热模式对微泵流量的影响 | 第39-40页 |
| ·体积及流量随时间变化特性分析 | 第40-44页 |
| ·微泵进口/出口流速分析 | 第44-45页 |
| ·不同加热模式扩张管/收缩管压力对比 | 第45-46页 |
| ·微泵温度场特性分析 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 并联双腔热汽泡驱动无阀微泵特性分析 | 第48-56页 |
| ·几何模型 | 第48-49页 |
| ·并联微泵流量特性分析 | 第49-51页 |
| ·热功率对并联双腔微泵流量影响 | 第51-54页 |
| ·汽泡体积及流量随时间变化分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论及进一步工作建议 | 第56-58页 |
| ·主要结论 | 第56页 |
| ·进一步工作的建议 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 | 第63页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表和在投论文目录 | 第63页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间参与科研项目 | 第63页 |
