小功率极板间放电等离子体发生器的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·等离子体的概念 | 第9-10页 |
| ·等离子体的分类 | 第10-11页 |
| ·等离子体的性质 | 第11-12页 |
| ·等离子体的形成 | 第12-13页 |
| ·等离子体的产生方式 | 第12页 |
| ·气体的放电方式简介 | 第12-13页 |
| ·等离子体的应用 | 第13-14页 |
| ·等离子体的发展现状 | 第14-15页 |
| ·实验的主要目的 | 第15页 |
| ·论文的创新之处 | 第15-16页 |
| 第2章 实验装置的介绍与实验过程 | 第16-21页 |
| ·实验装置的简介 | 第16-17页 |
| ·实验过程 | 第17-21页 |
| 第3章 等离子体伏安特性曲线分析 | 第21-32页 |
| ·等离子体伏安特性曲线 | 第21页 |
| ·氮气流量对等离子体伏安特性曲线的影响 | 第21-22页 |
| ·氩气流量对等离子体伏安特性曲线的影响 | 第22-24页 |
| ·氮气氩气混合流量对等离子体伏安特性曲线的影响 | 第24-25页 |
| ·电源输入电压对等离子体伏安特性曲线的影响 | 第25-26页 |
| ·碳对等离子体伏安特性曲线的影响 | 第26-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 等离子体光谱特性分析 | 第32-57页 |
| ·气体流量变化对光谱的影响 | 第32-37页 |
| ·电源输入电压对等离子体光谱的影响 | 第37-38页 |
| ·气体中加入氩气对等离子体光谱的影响 | 第38-43页 |
| ·碳对等离子体光谱的影响 | 第43-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |