具有本征非晶硅层的异质结太阳能电池的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·人类面临的能源问题 | 第8页 |
| ·太阳能的优势 | 第8-9页 |
| ·太阳能电池的研究与发展现状 | 第9-10页 |
| ·HIT 太阳能电池的研究与发展现状 | 第10-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 HIT 太阳能电池理论基础 | 第15-20页 |
| ·HIT 太阳能电池工作原理 | 第15页 |
| ·HIT 太阳能电池的异质结结构 | 第15-17页 |
| ·HIT 太阳能电池的主要性能指标 | 第17-20页 |
| 3 用于HIT 太阳能电池的铝背场的研究 | 第20-31页 |
| ·表面钝化工艺原理 | 第20-23页 |
| ·铝背场的形成机理和制备方法 | 第23-25页 |
| ·少数载流子寿命测量 | 第25页 |
| ·实验 | 第25-27页 |
| ·结果和讨论 | 第27-31页 |
| 4 非晶硅薄膜的制备工艺研究 | 第31-49页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第31-34页 |
| ·PECVD 沉积非晶硅薄膜 | 第34-38页 |
| ·本征a-Si:H 薄膜 | 第38页 |
| ·n 型发射极薄膜 | 第38-39页 |
| ·实验和结果 | 第39-48页 |
| ·结论 | 第48-49页 |
| 5 异质结界面钝化和腐蚀工艺的研究 | 第49-59页 |
| ·非晶硅/单晶硅异质结界面钝化处理 | 第49-50页 |
| ·异质结界面绒面结构的研究 | 第50-53页 |
| ·实验和结果 | 第53-58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| 6 总结 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录攻读硕士学位期间发表的论文及申请的专利 | 第66页 |
