单向压缩和纳米压痕引起的单晶硅相变研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-14页
·纳米材料的特点、研究进展及广泛应用	第9-10页
·硅材料的应用及研究进展	第10-11页
·结构相变及其研究进展	第11-12页
·分子动力学方法	第12-13页
·本文研究意义及内容	第13-14页
2 分子动力学模拟方法	第14-21页
·模拟原理	第14页
·模拟系综	第14-16页
·几何模型的建立	第16页
·初始条件和边界条件	第16-17页
·温度控制	第17-19页
·时间积分算法和时间步长	第19-21页
3 纳米单晶硅单向压缩的相变研究	第21-34页
·引言	第21页
·初始模型及模拟过程	第21-24页
·尺寸对模拟结果的影响	第24-27页
·压缩引起的相变研究	第27-33页
·小结	第33-34页
4 温度对单晶硅压缩相变的影响	第34-44页
·引言	第34页
·初始结构和模拟过程	第34-36页
·模拟结果分析	第36-43页
·小结	第43-44页
5 单晶硅纳米压痕过程中的相变研究	第44-53页
·引言	第44页
·压痕模型及模拟步骤	第44-47页
·模拟结果及分析	第47-52页
·小结	第52-53页
6 全文总结及展望	第53-55页
·本文研究内容	第53-54页
·进一步的工作展望	第54-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-61页