| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| ·研究的背景和意义 | 第13-16页 |
| ·论文的结构安排 | 第16-17页 |
| 参考文献 | 第17-20页 |
| 第二章 用于WDM光网络的集成解复用接收器件研究进展 | 第20-40页 |
| ·光子集成的发展及其在WDM光网络中的应用 | 第21-23页 |
| ·WDM光网络中ROADM的实现技术 | 第23-25页 |
| ·基于光子集成的ROADM器件研究进展 | 第25-35页 |
| ·基于AWG的ROADM器件 | 第26-29页 |
| ·基于环形结构的ROADM器件 | 第29-34页 |
| ·基于光子晶体的ROADM器件 | 第34-35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-40页 |
| 第三章 具有波长选择特性的单片集成可调谐光探测器 | 第40-64页 |
| ·GaAs-DBRs/InP-PD单片集成可调谐光探测器的理论基础 | 第40-44页 |
| ·器件的基本结构 | 第41页 |
| ·器件量子效率和频率响应的理论分析 | 第41-44页 |
| ·器件的外延生长和制备 | 第44-54页 |
| ·器件的外延生长 | 第44-45页 |
| ·X射线衍射技术(XRD)和器件的外延生长质量 | 第45-47页 |
| ·器件的制作工艺和版图设计 | 第47-53页 |
| ·器件的制备 | 第53-54页 |
| ·窄光谱响应线宽面入射光探测器光谱响应的精确测量 | 第54-57页 |
| ·器件可调谐特性的测试 | 第57-59页 |
| ·器件暗电流的测试 | 第59-60页 |
| ·器件频率响应的测试 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第四章 用于ROADM技术的集成解复用接收器件的研究 | 第64-87页 |
| ·具有波长处理功能的单片集成光探测器阵列 | 第65-72页 |
| ·基本结构及理论分析 | 第65-66页 |
| ·多阶梯结构的制作工艺 | 第66-69页 |
| ·器件的外延生长和制备 | 第69-70页 |
| ·器件的测试与讨论 | 第70-72页 |
| ·用于ROADM技术的集成解复用接收器件 | 第72-82页 |
| ·基本结构及理论分析 | 第72-75页 |
| ·器件的外延生长和制备 | 第75-77页 |
| ·基于苯并环丁烯(BCB)树脂的键合实验研究 | 第77-78页 |
| ·器件的测试与讨论 | 第78-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 第五章 长波长四镜三腔光探测器的研究 | 第87-102页 |
| ·器件的基本结构 | 第87-88页 |
| ·理论计算与特性分析 | 第88-93页 |
| ·量子效率的计算方法与理论分析 | 第88-92页 |
| ·器件的驻波效应 | 第92-93页 |
| ·材料生长和器件制备 | 第93-98页 |
| ·器件外延片的生长 | 第93-95页 |
| ·器件的制备 | 第95-98页 |
| ·实验测试及结果分析 | 第98-99页 |
| ·光谱响应的测试 | 第98页 |
| ·频率响应的测试 | 第98-99页 |
| ·小结 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-102页 |
| 第六章 具有双吸收层结构的RCE光探测器研究 | 第102-123页 |
| ·双吸收层p-i-n-i-p光探测器概述 | 第102-105页 |
| ·具有双吸收层结构的RCE光电探测器基本结构 | 第105-106页 |
| ·理论计算与特性分析 | 第106-114页 |
| ·量子效率的理论计算 | 第106-108页 |
| ·与传统谐振腔增强型探测器的比较 | 第108-109页 |
| ·驻波效应 | 第109-110页 |
| ·高速响应的理论计算 | 第110-114页 |
| ·器件生长与版图设计 | 第114-119页 |
| ·器件外延片的生长 | 第114-115页 |
| ·工艺流程与版图设计 | 第115-119页 |
| ·实验测试及结果分析 | 第119-120页 |
| ·小结 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-123页 |
| 第七章 基于亚波长光栅的RCE光探测器研究 | 第123-143页 |
| ·具有SWG结构的高反射镜理论分析 | 第123-127页 |
| ·具有一维SWG结构的高反射镜 | 第123-125页 |
| ·具有二维SWG结构的高反射镜 | 第125-127页 |
| ·具有SWG结构的RCE光探测器理论研究 | 第127-131页 |
| ·具有一维SWG结构的RCE光探测器 | 第127-129页 |
| ·具有二维SWG结构的RCE光探测器 | 第129-131页 |
| ·SWG的制备工艺研究 | 第131-135页 |
| ·SWG光刻版图设计 | 第131-133页 |
| ·SWG制备重要工艺步骤研究 | 第133-135页 |
| ·SWG制备实验结果 | 第135页 |
| ·具有SWG结构的RCE光探测器制备工艺研究 | 第135-140页 |
| ·具有SWG结构的RCE光探测器版图设计 | 第135-138页 |
| ·具有SWG结构的RCE光探测器外延生长 | 第138-139页 |
| ·器件制备工艺 | 第139-140页 |
| ·小结 | 第140-141页 |
| 参考文献 | 第141-143页 |
| 第八章 总结 | 第143-145页 |
| 致谢 | 第145-147页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第147-148页 |
