水导激光微细加工技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·水导激光微细加工的国际国内研究现状及发展趋势 | 第16-25页 |
| ·水导激光微细加工技术的国际国内研究现状 | 第17-24页 |
| ·水导激光微细加工的发展趋势 | 第24-25页 |
| ·水导激光微细加工的应用 | 第25-29页 |
| ·高新电子产品关键部件加工 | 第25-27页 |
| ·高精密医疗用品加工 | 第27-28页 |
| ·大规模集成电路晶片切割 | 第28页 |
| ·其他领域应用 | 第28-29页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第29-30页 |
| ·主要研究内容 | 第30-31页 |
| 第2章 聚焦激光与水束光纤耦合技术研究 | 第31-54页 |
| ·聚焦激光与水束光纤耦合原理 | 第31-42页 |
| ·水束光纤耦合对准距离分析 | 第31-33页 |
| ·形成导光水束光纤时激光最大入射角分析 | 第33-35页 |
| ·水束光纤的多模传输分析 | 第35-36页 |
| ·激光能量在水束光纤中的吸收衰减 | 第36-37页 |
| ·激光能量在水束光纤中的散射衰减研究 | 第37-41页 |
| ·水束光纤中的杂质粒子对激光能量衰减分析 | 第41-42页 |
| ·聚焦激光与水束光纤耦合对准研究 | 第42-53页 |
| ·耦合对准检测方案和检测系统设计 | 第43-45页 |
| ·激光与水束光纤耦合调整技术 | 第45-46页 |
| ·耦合对准状态图像采集和处理的软件实现 | 第46-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 水导激光微细加工水束光纤生成技术研究 | 第54-71页 |
| ·水束光纤生成的流型分析 | 第54-57页 |
| ·平口喷嘴内部流型 | 第55-56页 |
| ·喷出速度分析 | 第56-57页 |
| ·耦合腔内水流场和水束光纤流体动力学仿真研究 | 第57-64页 |
| ·单入水口耦合腔内流场仿真 | 第58-60页 |
| ·多进水口耦合装置腔内流场的仿真 | 第60-61页 |
| ·压力脉动对流场的影响仿真 | 第61-62页 |
| ·射流的两相流流场仿真 | 第62-64页 |
| ·水导激光微细加工用水束光纤生成系统研究 | 第64-70页 |
| ·高压稳压水液压系统研制 | 第64-68页 |
| ·返流缩流型水束光纤实现技术研究 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 激光和水束光纤耦合能量束对工件作用研究 | 第71-88页 |
| ·激光与水束光纤耦合能量束与工件作用基本原理 | 第71-73页 |
| ·激光与物质作用的基本原理 | 第71-72页 |
| ·水导激光微细加工中的冲击波和空蚀作用原理 | 第72-73页 |
| ·激光与水束耦合能量束与工件作用的传热学仿真 | 第73-87页 |
| ·水导激光微细加工热传导数学模型 | 第74-78页 |
| ·水导激光微细加工工件温度场的数值计算方法 | 第78-79页 |
| ·水导激光微细加工工件温度场及蚀除仿真模型 | 第79-82页 |
| ·水导激光刻蚀仿真过程及结果分析 | 第82-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第5章 水导激光微细加工系统和工艺试验研究 | 第88-109页 |
| ·水导激光微细加工装置总体设计方案 | 第88-91页 |
| ·耦合装置结构设计 | 第91-93页 |
| ·水导激光微细加工试验方案 | 第93页 |
| ·试验结果分析 | 第93-104页 |
| ·水射流的稳定性 | 第93-94页 |
| ·激光聚焦光斑烧斑直径与激光能量的关系 | 第94-96页 |
| ·激光光斑烧斑直径与离焦量的关系 | 第96-97页 |
| ·CCD耦合对中试验研究 | 第97-98页 |
| ·激光能量在水束中衰减 | 第98-99页 |
| ·不同材料的加工效果对比 | 第99-100页 |
| ·热影响区及熔融产物 | 第100-101页 |
| ·切割硅片各加工参数对加工效率的影响 | 第101-102页 |
| ·切割不锈钢1Cr18Ni9Ti片正交分析 | 第102-104页 |
| ·水导激光微细加工技术加工实例 | 第104-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-118页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 个人简历 | 第121页 |
