| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| ·MEMS陀螺仪的分类 | 第14-16页 |
| ·框架式MEMS陀螺仪 | 第14-15页 |
| ·线振动MEMS陀螺仪 | 第15页 |
| ·音叉式MEMS陀螺仪 | 第15页 |
| ·角振动式MEMS陀螺仪 | 第15-16页 |
| ·振动环式MEMS陀螺仪 | 第16页 |
| ·悬浮转子式MEMS陀螺仪 | 第16页 |
| ·MEMS陀螺仪的发展概况 | 第16-20页 |
| ·MEMS陀螺仪的国内外发展状况 | 第16-20页 |
| ·几种MEMS陀螺仪性能的比较 | 第20页 |
| ·外界环境因素对MEMS陀螺仪的影响 | 第20-23页 |
| ·温度对MEMS陀螺仪的影响 | 第20-21页 |
| ·载体复合运动对MEMS陀螺仪的影响 | 第21页 |
| ·声场对MEMS陀螺仪的影响 | 第21-22页 |
| ·电磁环境对MEMS陀螺仪的影响 | 第22-23页 |
| ·气压变化对MEMS陀螺仪的影响 | 第23页 |
| ·论文的主要工作和创新点 | 第23-25页 |
| 第2章 MEMS梳状线振动陀螺仪弹性梁的设计及其分析 | 第25-42页 |
| ·MEMS梳状线振动式陀螺仪的基本结构及工作原理 | 第25-26页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪弹性梁设计及模态分析 | 第26-41页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪弹性梁的设计 | 第29-30页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪振动频率的分析 | 第30-36页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪检测模态频率的分析 | 第36-38页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪振动频率有限元仿真分析 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 MEMS梳状线振动陀螺仪的阻尼分析及压强影响的研究 | 第42-78页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·几种不同运动阻尼方式分析 | 第42-47页 |
| ·一维的平动情况 | 第43-44页 |
| ·非平动平板阻尼 | 第44-45页 |
| ·二维有限平板 | 第45-46页 |
| ·双面阻尼 | 第46-47页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪的阻尼分析 | 第47-65页 |
| ·库埃特流阻尼模型 | 第47-54页 |
| ·压膜阻尼模型 | 第54-60页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼模型 | 第60-65页 |
| ·气压对MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼的影响研究 | 第65-77页 |
| ·气压对压膜阻尼的影响研究 | 第66-73页 |
| ·气压对库埃特流阻尼的影响研究 | 第73-75页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪最佳气压工作点 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 MEMS梳状线振动陀螺仪的静电力及载体运动影响的研究 | 第78-118页 |
| ·MEMS梳状线振动式陀螺仪的静电力特性分析 | 第78-84页 |
| ·受力分析 | 第78-84页 |
| ·理想状态MEMS梳状线振动陀螺仪的运动分析 | 第84-90页 |
| ·载体匀速旋转 | 第85-87页 |
| ·载体匀加速旋转 | 第87-90页 |
| ·MEMS梳状线振动陀螺仪的动力学模型 | 第90-94页 |
| ·旋转角速度对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响 | 第94-96页 |
| ·载体加速度对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响 | 第96-98页 |
| ·结构对不称时MEMS梳状线振动陀螺仪的运动分析 | 第98-116页 |
| ·结构不对称造成的梳齿变形的分析 | 第99-104页 |
| ·产生的零点信号 | 第104-105页 |
| ·载体匀速旋转时的输出 | 第105-108页 |
| ·载体匀加速旋转时的输出 | 第108-116页 |
| ·本章小结 | 第116-118页 |
| 第5章 MEMS梳状线振动陀螺仪温度影响研究 | 第118-132页 |
| ·引言 | 第118页 |
| ·温度对MEMS梳状线振动陀螺仪结构尺寸的影响 | 第118-121页 |
| ·温度对MEMS梳状线振动陀螺仪的弹性模量的影响 | 第121-126页 |
| ·温度对MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼的影响 | 第126-127页 |
| ·温度对MEMS梳状线振动陀螺仪品质因子的影响 | 第127-128页 |
| ·温度对MEMS梳状线振动陀螺仪输出综合的影响 | 第128-130页 |
| ·本章小结 | 第130-132页 |
| 第6章 MEMS梳状线振动陀螺仪参数测试 | 第132-149页 |
| ·引言 | 第132页 |
| ·性能指标 | 第132-135页 |
| ·标度因子、标度因子稳定性 | 第132-133页 |
| ·阈值、分辨率及灵敏度 | 第133页 |
| ·量程 | 第133页 |
| ·零偏 | 第133-134页 |
| ·随机漂移 | 第134页 |
| ·带宽 | 第134-135页 |
| ·试验 | 第135-148页 |
| ·模态特性测试 | 第135-137页 |
| ·标度因子与零偏测试 | 第137-145页 |
| ·温度循环测试 | 第145-148页 |
| ·本章小结 | 第148-149页 |
| 结论 | 第149-151页 |
| 一、本课题的工作总结 | 第149-150页 |
| 二、今后课题的展望 | 第150-151页 |
| 参考文献 | 第151-161页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第161-163页 |
| 致谢 | 第163-164页 |
| 附录 A 主要符号定义及说明 | 第164-173页 |
| 附录 B ALLAN方差计算说明 | 第173-177页 |
