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Sol-gel法干燥控制制备稀土掺杂氧化铝薄膜研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-18页
   ·掺Er~(3+)光波导放大器第9-12页
   ·Er~(3+)掺杂Al_2O_3光波导薄膜的制备方法第12-14页
   ·Sol-gel法制备Er~(3+)掺杂Al_2O_3光波导薄膜研究现状第14-16页
   ·本文的研究目的及研究内容第16-18页
2 非水性sol-gel法薄膜制备工艺及分析测试方法第18-27页
   ·非水性sol-gel法原理第18-20页
   ·非水性sol-gel法薄膜制备工艺第20-24页
   ·分析检测方法第24-27页
     ·溶胶性质分析第24页
     ·结构分析第24页
     ·光致发光特性分析第24-27页
3 干燥控制化学添加剂对Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3薄膜干燥控制研究第27-39页
   ·Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3的制备第27-29页
   ·溶胶特性分析第29-30页
     ·溶胶粘度分析第29页
     ·溶胶失重曲线第29-30页
   ·结构分析第30-34页
     ·热重/差热分析第30-32页
     ·键合结构分析第32页
     ·薄膜形貌分析第32-34页
   ·光致发光特性分析第34-36页
   ·讨论第36-38页
   ·小结第38-39页
4 干燥控制物理添加剂对Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3薄膜干燥控制研究第39-48页
   ·Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3的制备第39-41页
   ·溶胶特性分析第41-43页
     ·溶胶粘度分析第41页
     ·溶胶失重曲线第41-43页
   ·结构分析第43-45页
     ·键合结构分析第43-44页
     ·薄膜形貌分析第44-45页
   ·光致发光特性分析第45-46页
   ·讨论第46页
   ·小结第46-48页
5 增粘剂增强干燥控制物理添加剂对Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3薄膜干燥控制研究第48-60页
   ·Er~(3+)-Yb~(3+)共掺杂Al_2O_3的制备第48-50页
   ·溶胶特性分析第50-52页
     ·溶胶粘度分析第50-51页
     ·失重曲线第51-52页
   ·结构分析第52-56页
     ·热重/差热分析第52-53页
     ·键合结构分析第53-54页
     ·薄膜形貌分析第54-56页
   ·光致发光特性分析第56-57页
   ·讨论第57-58页
   ·小结第58-60页
结论第60-61页
参考文献第61-66页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第66-67页
致谢第67-68页

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