基于半导体制冷技术的高精密温度控制系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·韩国BUPE的超高精度CMM | 第14-15页 |
| ·美国NIST的MMM | 第15-16页 |
| ·东京大学的Nano-CMM | 第16页 |
| ·课题研究目标及主要研究方法 | 第16-17页 |
| 第二章 分离式恒温箱结构概述与特性分析 | 第17-21页 |
| ·分离式恒温箱结构 | 第17-18页 |
| ·分离式恒温箱温度场仿真分析 | 第18-19页 |
| ·无热源仿真分析 | 第18页 |
| ·有热源仿真分析 | 第18-19页 |
| ·分离式恒温箱实验特性分析 | 第19-21页 |
| 第三章 恒温箱数学模型的建立 | 第21-26页 |
| ·系统辨识的一些基本概念 | 第21-23页 |
| ·系统辨识定义 | 第21-22页 |
| ·建立过程数学模型的基本方法 | 第22-23页 |
| ·恒温箱数学模型的建立 | 第23-26页 |
| 第四章 恒温箱测控系统硬件设计 | 第26-40页 |
| ·恒温箱测控系统的硬件设计 | 第26页 |
| ·温度传感器的选择及温度采集系统设计 | 第26-40页 |
| ·温度传感器的选择 | 第26-27页 |
| ·铂热电阻Pt100测量原理及测量方法 | 第27-28页 |
| ·温度传感器的标定 | 第28-32页 |
| ·多路温度采集系统 | 第32-35页 |
| ·高精度温度采集单元 | 第35-37页 |
| ·程控电源和半导体制冷片的选择 | 第37-40页 |
| 第五章 温度测控系统的算法设计与仿真 | 第40-61页 |
| ·基本PID控制 | 第40-45页 |
| ·模拟PID控制原理 | 第40-41页 |
| ·数字PID控制原理 | 第41-42页 |
| ·极点配置自校正PID控制器 | 第42-45页 |
| ·模糊控制 | 第45-49页 |
| ·模糊控制概述 | 第45页 |
| ·模糊控制基本结构 | 第45-47页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第47-49页 |
| ·模糊PID控制 | 第49-53页 |
| ·人工神经网络控制 | 第53-59页 |
| ·人工神经网络概述 | 第53-54页 |
| ·人工神经网络建模与控制 | 第54-59页 |
| ·仿真实验小结 | 第59-61页 |
| 第六章 实验结果与误差源分析 | 第61-65页 |
| ·实验结果 | 第61-63页 |
| ·误差源分析 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
