| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| ·微光机电系统的历史概况 | 第8-9页 |
| ·微光机电系统的组成要素 | 第9页 |
| ·微光机电技术(MOEMS)在光通信领域的典型应用 | 第9-11页 |
| ·微光机电系统的制造工艺 | 第11-15页 |
| ·掩模成像光刻制造技术 | 第11-14页 |
| ·无掩模光刻技术 | 第14-15页 |
| ·国内外激光直写系统发展现状 | 第15-18页 |
| ·交流伺服系统概述 | 第18-22页 |
| ·交流伺服系统的特点 | 第18-19页 |
| ·交流伺服系统数字化控制的优点 | 第19-20页 |
| ·全数字交流伺服系统的组成 | 第20-22页 |
| ·论文的主要内容和章节安排 | 第22-24页 |
| 第二章 高精度激光直写光刻系统总体设计 | 第24-33页 |
| ·高精度激光直写光刻系统的总体设计方案 | 第24-26页 |
| ·松下 MINASA系列交流伺服系统 | 第26-33页 |
| ·性能特点 | 第26-29页 |
| ·工作原理 | 第29-30页 |
| ·驱动信号连接和参数设置 | 第30-33页 |
| 第三章 激光直写光刻系统控制电路的硬件设计 | 第33-65页 |
| ·控制电路功能要求 | 第33页 |
| ·三维运动控制卡总体设计 | 第33-34页 |
| ·单元电路模块设计 | 第34-42页 |
| ·PC接口及地址译码模块的设计 | 第34-36页 |
| ·时钟产生模块 | 第36-37页 |
| ·方向信号产生模块 | 第37-38页 |
| ·脉冲信号产生模块 | 第38-40页 |
| ·保护电路 | 第40-42页 |
| ·ISA总线到PCI总线转换电路设计 | 第42-65页 |
| ·PCI总线概述 | 第42-43页 |
| ·PCI局部总线的特点 | 第43-45页 |
| ·PCI总线的体系结构 | 第45-46页 |
| ·PCI局部总线的信号定义及其命令 | 第46-49页 |
| ·PCI总线的配置空间 | 第49-50页 |
| ·PCI接口芯片的选择 | 第50-54页 |
| ·PCI总线接口设计 | 第54-55页 |
| ·PCI9052的复位和 EEPROM的初始化 | 第55页 |
| ·PCI9052配置寄存器的配置 | 第55-61页 |
| ·局部总线 ISA接口模式数据传输操作 | 第61-65页 |
| 第四章 基于 ISA接口的控制电路和 PCI接口卡软件设计 | 第65-74页 |
| ·基于 ISA接口的控制电路软件设计 | 第65-68页 |
| ·PCI设备驱动程序和应用程序的开发 | 第68-74页 |
| ·WDM设备驱动程序概述 | 第68-70页 |
| ·WDM设备驱动程序开发工具 WinDriver功能简介 | 第70页 |
| ·用户模式驱动程序的开发流程 | 第70-72页 |
| ·应用程序的开发 | 第72-74页 |
| 第五章 系统实验调试 | 第74-79页 |
| ·系统的硬件调试 | 第74-75页 |
| ·激光直写系统光刻实验 | 第75-79页 |
| ·感光胶片刻蚀实验 | 第75-76页 |
| ·SU-8光刻胶光刻实验 | 第76-79页 |
| 第六章 结论与展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 附录 1:运动控制卡实物图 | 第84页 |
| 附录 2:激光直写光刻系统机械装置图 | 第84-85页 |
| 在校期间发表的论文 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
