| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·50-110nm波段反射镜的发展 | 第11-13页 |
| ·50-110nm波段反射镜的应用价值 | 第13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 50-110nm波段高反射率多层膜的设计 | 第14-26页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·亚四分之一波长多层膜设计方法 | 第15-17页 |
| ·亚四分之一波长多层膜选材 | 第15-17页 |
| ·亚四分之一波长多层膜膜厚分布 | 第17页 |
| ·50-110nm波段高反射率多层膜材料组合的选择 | 第17-23页 |
| ·50-110nm波段高反射率多层膜膜层厚度的优化 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 50-110nm高反射率多层膜的制备 | 第26-36页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射 | 第27-29页 |
| ·磁控滩射原理 | 第27-28页 |
| ·磁控溅射设备 | 第28-29页 |
| ·多层膜制备工艺 | 第29-31页 |
| ·溅射速率标定 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 50-110nm高反射率多层膜的检测与结果分析 | 第36-45页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·高分辨率X射线衍射仪测量 | 第36-41页 |
| ·高分辨率X射线衍射仪原理 | 第36-39页 |
| ·X射线衍射仪测试结果与分析 | 第39-41页 |
| ·同步辐射测量 | 第41-44页 |
| ·同步辐射测试介绍 | 第41-42页 |
| ·同步辐射测试结果与分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 全文总结 | 第45-48页 |
| ·主要研究成果 | 第45-46页 |
| ·论文主要创新点 | 第46页 |
| ·需要进一步解决的问题 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 个人简历 在读期间发表的学术论文与研究成果 | 第52页 |
