| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-16页 |
| ·声表面波技术与声表面波器件 | 第10-14页 |
| ·声表面波简介 | 第10-11页 |
| ·SAWF的结构原理及发展现状 | 第11-14页 |
| ·SAWF的发展趋势 | 第14页 |
| ·立论依据及主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 多层膜结构声表面波滤波器的基本理论 | 第16-31页 |
| ·瑞利波在多层膜介质中的传播 | 第16-21页 |
| ·固体中的弹性波 | 第16-18页 |
| ·压电介质中的声表面波 | 第18-21页 |
| ·瑞利波在多层膜介质中的传播 | 第21页 |
| ·叉指换能器的基本理论 | 第21-29页 |
| ·叉指换能器的工作原理与基本特性 | 第22-25页 |
| ·叉指换能器的脉冲相应特性 | 第25-27页 |
| ·叉指换能器的加权 | 第27-29页 |
| ·声表面波滤波器的各项性能指标 | 第29-31页 |
| 第三章 适用于SAW滤波器的金刚石薄膜基底的制备 | 第31-62页 |
| ·金刚石结构和金刚石薄膜 | 第31-37页 |
| ·金刚石薄膜的结构及其优异特性 | 第31-33页 |
| ·金刚石薄膜的研究现状及发展前景 | 第33-37页 |
| ·MPCVD技术简介 | 第37-39页 |
| ·硅衬底上金刚石薄膜的制备及表征 | 第39-61页 |
| ·高定向异质外延金刚石生长及表征 | 第40-44页 |
| ·不同类型硅基底上金刚石的生长 | 第44-56页 |
| ·沉积温度对取向度的影响 | 第56-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 ZnO/IDT/Diamond多层膜结构声表面波滤波器的设计 | 第62-76页 |
| ·FIR滤波器的设计方法 | 第62-72页 |
| ·用窗函数方法设计线性相位FIR滤波器 | 第62-66页 |
| ·频率取样法 | 第66-67页 |
| ·最优化设计方法 | 第67-72页 |
| ·ZnO/IDT/Diamond多层膜结构SAW滤波器的设计 | 第72-75页 |
| ·结构选择 | 第72-73页 |
| ·叉指换能器(IDT)结构设计的基本原理 | 第73-75页 |
| ·ZnO/IDT/Diamond 结构声表面波滤波器的制作过程 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 全文总结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 发表论文及参与科研 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
