多层水冷硅镜的设计和研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·高功率激光器及其应用 | 第10-12页 |
| ·高能激光中的激光腔镜热畸变 | 第12-13页 |
| ·主动冷却技术在激光腔镜中的应用及发展 | 第13-15页 |
| ·本课题研究目的及意义 | 第15-16页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的创新点 | 第17-18页 |
| 2 激光腔镜热变形理论分析 | 第18-26页 |
| ·腔镜热变形分析 | 第18-23页 |
| ·激光作用下腔镜的传热模型 | 第18-20页 |
| ·反射镜镜面变形分析 | 第20-21页 |
| ·超薄多层镜的变形研究 | 第21-23页 |
| ·腔镜热变形对光束质量的影响 | 第23-25页 |
| ·光束质量评价 | 第23-24页 |
| ·镜面热畸变对M~2因子和STREHL 比的影响 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 3 结构设计 | 第26-40页 |
| ·结构设计 | 第26-31页 |
| ·有限元数值模拟 | 第31-38页 |
| ·光学加工 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 4 台架实验研究 | 第40-50页 |
| ·实验条件 | 第40-41页 |
| ·泰曼-格林干涉仪测试系统 | 第41-42页 |
| ·实验结果及分析 | 第42-48页 |
| ·水压实验 | 第42-45页 |
| ·热变形实验 | 第45-48页 |
| ·镜面恢复试验 | 第48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 5 实用化超薄多层水冷硅镜稳定性试验研究 | 第50-56页 |
| ·光束质量在激光加工领域上的重要意义 | 第50-51页 |
| ·在2KW 连续CO_2 激光器上的运行考核试验 | 第51-54页 |
| ·试验条件 | 第51-52页 |
| ·试验结果及分析 | 第52-54页 |
| ·在高能脉冲激光器上的试验研究 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 6 全文总结 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文 | 第63页 |
