| 摘要 | 第1-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·研究目的及意义 | 第13-17页 |
| ·中红外激光薄膜国内外研究进展 | 第17-21页 |
| ·本论文的内容安排 | 第21-22页 |
| 参考文献 | 第22-25页 |
| 第二章 激光薄膜设计理论及制备技术 | 第25-50页 |
| ·激光薄膜设计理论 | 第25-39页 |
| ·光学薄膜的光学特性计算方法 | 第28-32页 |
| ·光学薄膜的驻波场计算方法 | 第32-36页 |
| ·激光薄膜的设计方法 | 第36-39页 |
| ·中远红外光学薄膜制备技术 | 第39-47页 |
| ·基板材料选取和清洗工艺 | 第39-41页 |
| ·薄膜材料的选取 | 第41-44页 |
| ·薄膜沉积方法 | 第44-45页 |
| ·工艺参数的确定 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 光学薄膜温度场理论及损伤机理研究 | 第50-76页 |
| ·光学薄膜温度场的基本理论 | 第50-52页 |
| ·光学薄膜温度场的数值模拟 | 第52-66页 |
| ·数值计算方法 | 第52-54页 |
| ·计算程序的校核 | 第54-56页 |
| ·高反膜温度场分布的计算模拟 | 第56-62页 |
| ·增透膜温度场分布的计算模拟 | 第62-64页 |
| ·共孔径分光镜薄膜温度场分布的计算模拟 | 第64-66页 |
| ·连续波激光辐照下光学薄膜的损伤机理 | 第66-73页 |
| ·熔融损伤 | 第66-67页 |
| ·热应力破坏 | 第67-68页 |
| ·热冲击破坏 | 第68-70页 |
| ·缺陷损伤 | 第70-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第四章 光学薄膜的缺陷研究 | 第76-108页 |
| ·缺陷分类及特点 | 第76-82页 |
| ·微观缺陷 | 第76-79页 |
| ·宏观缺陷 | 第79-82页 |
| ·缺陷形貌检测 | 第82-94页 |
| ·检测手段 | 第83-84页 |
| ·缺陷形貌原子力显微镜检测结果 | 第84-94页 |
| ·缺陷检测与统计 | 第94-99页 |
| ·单层薄膜 | 第94-97页 |
| ·多层膜 | 第97-99页 |
| ·缺陷形成机理 | 第99-101页 |
| ·缺陷对激光损伤阈值的影响 | 第101-102页 |
| ·减少缺陷的方法 | 第102-105页 |
| ·激光预处理方法 | 第102-103页 |
| ·沉积方法的选择 | 第103-104页 |
| ·沉积参数的优化 | 第104页 |
| ·真空系统的选择 | 第104-105页 |
| ·膜材料的选择 | 第105页 |
| ·小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-108页 |
| 第五章 光学薄膜参数测量 | 第108-143页 |
| ·微弱吸收测量 | 第108-122页 |
| ·表面热透镜技术测量微弱吸收的基本原理 | 第109-110页 |
| ·远红外(CO_2激光)薄膜微弱吸收测量 | 第110-117页 |
| ·中红外波段薄膜微弱吸收测量 | 第117-122页 |
| ·高反射率测量 | 第122-131页 |
| ·光腔衰荡法测量反射率的基本原理 | 第122-126页 |
| ·光腔衰荡测量系统对实验装置的要求 | 第126-128页 |
| ·高反射率测量装置的建立 | 第128页 |
| ·高反射率测量结果及分析 | 第128-131页 |
| ·薄膜应力测量 | 第131-140页 |
| ·张应力和压应力 | 第131-133页 |
| ·应力的测量 | 第133-140页 |
| ·小结 | 第140-141页 |
| 参考文献 | 第141-143页 |
| 第六章 中远红外薄膜研制与热畸变实验 | 第143-177页 |
| ·中红外反射镜研制 | 第143-152页 |
| ·膜系设计及薄膜材料选择 | 第143-151页 |
| ·制备工艺及测试结果 | 第151-152页 |
| ·中红外激光窗口增透膜研制 | 第152-156页 |
| ·膜系设计及薄膜材料选择 | 第153-155页 |
| ·制备工艺及测试结果 | 第155-156页 |
| ·共孔径分光镜研制 | 第156-162页 |
| ·膜系设计 | 第156-161页 |
| ·制备工艺及测试结果 | 第161-162页 |
| ·薄膜元件的热畸变实验研究 | 第162-174页 |
| ·Shack-Hartmann波前传感器的工作原理 | 第163页 |
| ·热畸变实验装置的建立 | 第163-165页 |
| ·热畸变测量结果与分析 | 第165-174页 |
| ·小结 | 第174-175页 |
| 参考文献 | 第175-177页 |
| 第七章 总结 | 第177-179页 |
| 攻读博士学位期间发表论文、科研工作及获奖情况 | 第179-181页 |
| 声明 | 第181-182页 |
| 致谢 | 第182页 |