| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-21页 |
| ·引言 | 第7-13页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂的研究与应用进展 | 第13-20页 |
| ·本课题研究目的与研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 含氮缓蚀剂的合成 | 第21-26页 |
| ·试验用试剂 | 第21页 |
| ·1-羟乙基-2-油酸基咪唑啉季铵盐的合成 | 第21-22页 |
| ·OMA的合成 | 第22-23页 |
| ·1-羟乙基-2-油酸基咪唑啉的合成 | 第23页 |
| ·咪唑啉季铵盐的合成 | 第23-26页 |
| 第3章 合成缓蚀剂缓蚀性能试验与评定方法 | 第26-38页 |
| ·差热分析(Differential Thermal Analysis，DTA)试验 | 第26-28页 |
| ·缓蚀剂性能评价 | 第28-32页 |
| ·红外光谱(IR)分析 | 第32-34页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第34-38页 |
| 第4章 含氮缓蚀剂缓蚀性能试验结果与讨论 | 第38-52页 |
| ·差热分析(DTA)试验结果及讨论 | 第38-39页 |
| ·合成缓蚀剂高温高压缓蚀性能试验结果及讨论 | 第39-45页 |
| ·扫描电镜(SEM)观测结果 | 第45-47页 |
| ·OMA的分子结构及缓蚀机理 | 第47-48页 |
| ·纯酰胺类化合物AM-C的缓蚀性能试验 | 第48-52页 |
| 第5章 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56页 |