硬质合金/金刚石薄膜的制备和附着性能的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-26页 |
| ·金刚石的基本知识 | 第8-14页 |
| ·金刚石的结构及形态 | 第8-9页 |
| ·金刚石的性质和应用 | 第9-14页 |
| ·金刚石膜在硬质合金刀具上的制备 | 第14-19页 |
| ·刀具材料的发展趋势 | 第14-15页 |
| ·CVD金刚石膜在刀具上的应用 | 第15-18页 |
| ·金刚石涂层硬质合金刀具的研究进展 | 第18-19页 |
| ·影响膜／基附着性能的因素及改善方法 | 第19-25页 |
| ·基体材料 | 第19-20页 |
| ·表面机械处理 | 第20-21页 |
| ·表面热处理 | 第21页 |
| ·表面化学处理 | 第21-22页 |
| ·中间过渡层 | 第22-23页 |
| ·气源种类和浓度 | 第23-24页 |
| ·沉积气压 | 第24页 |
| ·热丝及衬底温度 | 第24-25页 |
| ·研究的目的和意义 | 第25-26页 |
| 第二章 实验过程和方法 | 第26-35页 |
| ·实验原理 | 第26-30页 |
| ·热丝CVD法的反应机理 | 第26-27页 |
| ·薄膜的附着机理 | 第27-30页 |
| ·实验装置 | 第30-32页 |
| ·热丝CVD设备 | 第30-31页 |
| ·热丝的下垂和灯丝架的改进 | 第31-32页 |
| ·实验材料 | 第32页 |
| ·实验流程图 | 第32-33页 |
| ·分析检测方法 | 第33-35页 |
| ·表面形貌分析 | 第33页 |
| ·结构分析 | 第33-34页 |
| ·成分分析 | 第34页 |
| ·薄膜附着性能的评估 | 第34-35页 |
| 第三章 基体表面预处理对金刚石薄膜的附着性能影响 | 第35-52页 |
| ·实验条件 | 第35-36页 |
| ·表面预处理对基体的影响 | 第36-41页 |
| ·预处理后基体的表面形貌 | 第36-38页 |
| ·预处理后基体的表面含钴量 | 第38-41页 |
| ·表面预处理对金刚石薄膜的影响 | 第41-50页 |
| ·金刚石薄膜的形核分析 | 第41-44页 |
| ·金刚石薄膜的X射线衍射行为 | 第44-46页 |
| ·金刚石薄膜的附着性能 | 第46-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 第四章 沉积工艺对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第52-64页 |
| ·实验条件 | 第52-53页 |
| ·基体温度对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第53-56页 |
| ·不同基体温度下金刚石的表面形貌 | 第53-54页 |
| ·不同基体温度下金刚石薄膜的附着性能 | 第54-56页 |
| ·甲烷浓度对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第56-60页 |
| ·不同甲烷浓度下金刚石薄膜的形貌分析 | 第56-58页 |
| ·不同甲烷浓度下金刚石薄膜的附着性能 | 第58-60页 |
| ·沉积气压对金刚石薄膜附着性能的影响 | 第60-62页 |
| ·不同沉积气压下金刚石薄膜的形貌分析 | 第60-61页 |
| ·不同沉积气压下金刚石薄膜的附着性能 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第74页 |
