| 中文摘要 | 第1-3页 |
| 英文摘要 | 第3-5页 |
| 第一章 高介电材料的研究背景 | 第5-17页 |
| §1．1 铁电材料简介 | 第5-7页 |
| §1．2 Ba_xSr_（1-x）TiO_3材料简介 | 第7-10页 |
| §1．3 BST薄膜在DRAM中的应用 | 第10-17页 |
| 第二章 BST（Ba_xSr_（1-x）TiO_3）薄膜的实验制备和分析测试方法 | 第17-28页 |
| §2．1 电极的制备 | 第17-20页 |
| §2．2 Sol-gel法制备BST薄膜 | 第20-26页 |
| §2．3 薄膜性质的测试方法 | 第26-28页 |
| 第三章 单层薄膜的基本性质 | 第28-36页 |
| §3．1 均匀BST薄膜的基本性质 | 第28-29页 |
| §3．2 介电性质 | 第29-34页 |
| §3．3 铁电性能 | 第34-36页 |
| 第四章 多层BaTiO_3／SrTiO_3薄膜的形貌特征及电学性能 | 第36-46页 |
| §4．1 引言 | 第36-38页 |
| §4．2 实验方法 | 第38-39页 |
| §4．3 结果与讨论 | 第39-44页 |
| §4．4 结论 | 第44-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-47页 |
| 附录： 攻读硕士期间的公开发表的论文 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |