| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·聚碳酸酯材料的特性及应用 | 第11-13页 |
| ·聚碳酸酯材料的特性 | 第11页 |
| ·聚碳酸酯材料的应用 | 第11-13页 |
| ·类金刚石薄膜的结构及性质 | 第13-14页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第13-14页 |
| ·类金刚石薄膜的性质 | 第14页 |
| ·类金刚石薄膜在PC材料表面改性方面的应用 | 第14-16页 |
| ·光盘 | 第14-15页 |
| ·医学领域 | 第15页 |
| ·光学领域 | 第15-16页 |
| ·其他领域 | 第16页 |
| ·在聚碳酸酯材料上制备DLC薄膜的主要沉积方法及研究进展 | 第16-20页 |
| ·物理气相沉积方法 | 第16-18页 |
| ·化学气相沉积方法 | 第18-20页 |
| ·研究的目的和内容 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 类金刚石薄膜的制备方法 | 第21-34页 |
| ·射频磁控溅射方法制备DLC | 第21-27页 |
| ·射频磁控溅射方法基本原理 | 第21-22页 |
| ·射频磁控溅射中DLC膜形成过程 | 第22-23页 |
| ·实验设备 | 第23页 |
| ·工艺流程 | 第23-25页 |
| ·工艺参数 | 第25-27页 |
| ·RF-PECVD方法制备DLC | 第27-33页 |
| ·RF-PECVD方法基本原理 | 第27-28页 |
| ·RF-PECVD方法DLC薄膜形成过程 | 第28-29页 |
| ·实验设备 | 第29-30页 |
| ·工艺流程 | 第30-32页 |
| ·工艺参数 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 类金刚石薄膜的结构分析和形貌表征 | 第34-50页 |
| ·结构分析 | 第34-47页 |
| ·X射线衍射谱(XRD) | 第34-36页 |
| ·拉曼光谱(Raman) | 第36-42页 |
| ·Raman光谱的高斯分解 | 第37-40页 |
| ·数据比较与讨论 | 第40-42页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第42-47页 |
| ·XPS光谱分析 | 第43页 |
| ·C1sXPS峰位分析 | 第43-44页 |
| ·C1sXPS峰位高斯分解 | 第44-46页 |
| ·sp~3与sp~2键组分的计算 | 第46-47页 |
| ·表面形貌 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 第四章 类金刚石薄膜机械性能研究 | 第50-71页 |
| ·膜厚与表面粗糙度测量 | 第50-54页 |
| ·测试设备 | 第50-51页 |
| ·设备简介 | 第50页 |
| ·TR200粗糙度参数定义 | 第50-51页 |
| ·膜厚的测量 | 第51-52页 |
| ·表面粗糙度的测量 | 第52-54页 |
| ·DLC膜的摩擦学特性 | 第54-64页 |
| ·摩擦系数的测定 | 第55-60页 |
| ·RF-PFCVD沉积工艺参数对摩擦系数的影响 | 第55-58页 |
| ·射频磁控溅射沉积工艺参数对摩擦系数的影响 | 第58-60页 |
| ·耐磨损性能 | 第60-64页 |
| ·入射功率对耐磨损性的影响 | 第61页 |
| ·不同过渡层对耐磨损性的影响 | 第61-64页 |
| ·DLC薄膜的硬度表征 | 第64-70页 |
| ·铅笔硬度表征 | 第64页 |
| ·纳米压痕仪(Nanoindentation)硬度分析 | 第64-70页 |
| ·纳米硬度测试的基本原理 | 第65-66页 |
| ·实验结果及讨论 | 第66-70页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 类金刚石薄膜光学特性 | 第71-79页 |
| ·透射率的测定—可见-紫外分光光度计 | 第71-72页 |
| ·紫外光谱区透射率 | 第72-74页 |
| ·普通树脂镜片基底 | 第72-73页 |
| ·PC太空镜片基底 | 第73-74页 |
| ·可见光谱区透射率 | 第74-78页 |
| ·RF-PECVD制备方法 | 第74-76页 |
| ·射频入射功率的影响 | 第74页 |
| ·Ar/CH_4气体流量比的影响 | 第74-75页 |
| ·过渡层的影响 | 第75-76页 |
| ·沉积时间的影响 | 第76页 |
| ·磁控溅射制备方法 | 第76-78页 |
| ·射频入射功率的影响 | 第77页 |
| ·直流负偏压的影响 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第六章 结论与建议 | 第79-81页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| ·建议 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 硕士期间发表论文 | 第86页 |