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反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第一章 绪论第9-17页
   ·纳米技术与纳米材料概述第9-12页
     ·纳米技术第9-10页
     ·纳米材料第10-12页
   ·在纳米基础上开发功能性纺织材料第12-14页
     ·功能性纳米薄膜概述第12-13页
     ·功能性纳米薄膜的制备第13页
     ·功能性ZnO 纳米薄膜概述第13-14页
     ·功能性纳米结构镀层的表征第14页
   ·本课题研究的意义及国内外动态第14-15页
   ·课题研究的主要工作进程第15-17页
第二章 直流反应磁控溅射制备纳米ZNO 功能性薄膜第17-22页
   ·制备功能性薄膜的设备及其工作原理第17-18页
     ·实验所用设备简介第17页
     ·磁控溅射镀膜原理及其特点第17-18页
   ·功能性薄膜的制备第18-21页
     ·实验准备第18-19页
     ·等离子处理基材第19页
     ·薄膜制备方法的选择第19页
     ·制备ZnO 功能性薄膜的实验方案第19-21页
   ·本章小结第21-22页
第三章 对直流反应制备的功能性薄膜的成分分析第22-25页
   ·EDX 和XRD 的工作原理及所用仪器介绍第22-23页
     ·EDX 的基本工作原理及所用仪器介绍第22页
     ·XRD 的工作原理及所用仪器介绍第22-23页
   ·EDX 进行试样元素组成分析及结果第23页
   ·XRD 进行试样成分分析及结果第23-24页
   ·本章小结第24-25页
第四章 纳米ZNO 功能性薄膜的微观结构分析第25-38页
   ·AFM 和SEM 的工作原理及所用仪器介绍第25-27页
     ·AFM 的工作原理及所用仪器介绍第25-26页
     ·SEM 的工作原理及所用仪器介绍第26-27页
   ·AFM 对试样表面微观结构的分析及结果第27-35页
     ·镀膜前后试样表面微观结构比较第27页
     ·氧氩比对ZnO 薄膜微观结构的影响第27-30页
     ·溅射功率对ZnO 薄膜微观结构的影响第30-31页
     ·溅射压强对ZnO 薄膜微观结构的影响第31-33页
     ·镀膜厚度对ZnO 薄膜微观结构的影响第33-34页
     ·基材等离子处理前后试样表面的AFM 分析比较第34-35页
   ·试样的SEM 分析及结果第35-37页
   ·本章小结第37-38页
第五章 ZNO 薄膜与非织造布的界面结合情况研究第38-43页
   ·表面镀膜的一般界面结合机理第38-39页
   ·SEM 分析界面微观结构第39-41页
     ·制样第39-40页
     ·SEM 扫描结果与分析第40-41页
   ·剥离实验第41-42页
     ·试样制备第41页
     ·实验结果与分析第41-42页
   ·本章小结第42-43页
第六章 镀膜前后非织造布的光学性能和抗静电性能分析第43-48页
   ·抗紫外线和抗静电性能测试所用仪器及实验原理介绍第43-44页
     ·抗紫外线性能测试的仪器及实验原理介绍第43页
     ·抗静电性能测试所用仪器及实验原理介绍第43-44页
   ·试样的光学性能分析及结果第44-46页
     ·不同膜厚制备的试样的光透射率比较第44-45页
     ·不同氧分压制备的试样的光透射率比较第45页
     ·等离子处理原样对镀膜后试样光透射率的影响第45-46页
   ·试样的抗静电性能分析及结果第46-47页
   ·本章小结第47-48页
第七章 结语第48-50页
   ·论文总结第48页
   ·存在的问题与不足第48页
   ·课题展望第48-50页
致谢第50-51页
参考文献第51-54页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文第54页

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