| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·研究状况和进展 | 第7-10页 |
| ·选题思路和内容安排 | 第10-12页 |
| 第二章 薄膜电感的理论基础研究 | 第12-18页 |
| ·电感设计 | 第12-14页 |
| ·电感测试 | 第14-18页 |
| 第三章 样品制备及性能表征技术 | 第18-27页 |
| ·薄膜制备 | 第18-19页 |
| ·薄膜电感制备 | 第19-21页 |
| ·表面轮廓分析仪(台阶仪) | 第21-22页 |
| ·场发射扫描电子显微镜 | 第22-23页 |
| ·振动样品磁强计 | 第23-24页 |
| ·矢量网络分析仪 | 第24-26页 |
| ·阻抗分析仪 | 第26-27页 |
| 第四章 原理性薄膜电感设计 | 第27-33页 |
| ·U型电感理论计算 | 第27-31页 |
| ·实际薄膜电感设计 | 第31-33页 |
| 第五章 CoZr薄膜及其电感的制备和性能表征 | 第33-40页 |
| ·毫米量级CoZr薄膜电感制备 | 第33-34页 |
| ·CoZr薄膜及CoZr薄膜电感的性能表征 | 第34-37页 |
| ·微米量级薄膜电感 | 第37-40页 |
| 第六章 结论和展望 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 研究成果 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45页 |