CVD金刚石膜热化学抛光盘的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-26页 |
| ·选题背景及意义 | 第9-19页 |
| ·金刚石的微观结构及性质 | 第9-11页 |
| ·CVD金刚石膜概述及应用 | 第11-15页 |
| ·CVD金刚石膜加工技术 | 第15-17页 |
| ·热化学抛光技术及其对抛光盘材料的要求 | 第17-19页 |
| ·Fe-Al金属间化合物 | 第19-24页 |
| ·铁铝基金属间化合物概述 | 第19-20页 |
| ·Fe-Al合金相图和晶体结构 | 第20-21页 |
| ·Fe-Al金属间化合物性能及应用 | 第21-24页 |
| ·Fe-Al金属间化合物的制备 | 第24页 |
| ·FeAl合金在CVD金刚石膜热化学抛光中的优势 | 第24页 |
| ·课题来源、学术思想和预期达到的效果 | 第24-25页 |
| ·主要研究内容 | 第25-26页 |
| 2 热化学抛光CVD金刚石膜抛光盘材料的制备研究 | 第26-35页 |
| ·抛光盘的制备技术路线 | 第26-27页 |
| ·成分的确定 | 第27页 |
| ·测试方法 | 第27-28页 |
| ·高能球磨技术 | 第28-33页 |
| ·高能球磨技术概述 | 第28-29页 |
| ·高能球磨技术的基本原理 | 第29-30页 |
| ·球磨参数对机械合金化的影响 | 第30-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 3 抛光盘材料的机械合金化工艺 | 第35-47页 |
| ·试验器材 | 第35-36页 |
| ·试验过程 | 第36-38页 |
| ·清洗钢球和球罐 | 第36-37页 |
| ·球磨 | 第37页 |
| ·出料 | 第37页 |
| ·截面观察方法 | 第37-38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-45页 |
| ·合金化过程 | 第38-43页 |
| ·球磨参数对合金化的影响 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 4 抛光盘的热压烧结工艺 | 第47-61页 |
| ·热压烧结技术概述 | 第47-49页 |
| ·热压烧结的基本原理 | 第47-49页 |
| ·影响烧结的因素 | 第49页 |
| ·热压烧结过程 | 第49-53页 |
| ·热压烧结示意图及设备 | 第49-50页 |
| ·烧结参数试验 | 第50-52页 |
| ·最终烧结参数 | 第52-53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-60页 |
| ·烧结材料性能检测 | 第53-60页 |
| ·确定合适的抛光盘制备工艺 | 第60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 5 热化学抛光CVD金刚石膜试验 | 第61-71页 |
| ·试验条件 | 第61-63页 |
| ·试验装置 | 第61-62页 |
| ·金刚石膜的装夹 | 第62-63页 |
| ·CVD金刚石膜热化学抛光结果 | 第63-66页 |
| ·FeAl合金抛光盘的磨损特性 | 第66-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
