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硬脆材料异形面超声微精加工工艺研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-22页
   ·超声加工技术的发展概况第10-11页
   ·超声加工技术的应用及加工实例第11-16页
     ·磨料的冲击超声加工第12-14页
     ·超声复合加工第14-16页
   ·微细加工技术概况第16-18页
   ·超声微细加工发展概况第18-20页
   ·本论文研究目的和研究内容第20-21页
     ·研究目的第20页
     ·研究内容第20-21页
   ·本章小结第21-22页
第二章 微细超声加工机理分析与探讨第22-36页
   ·超声加工的基本原理第22页
   ·超声加工的优缺点第22-23页
     ·超声加工的优点第22-23页
     ·超声加工的缺点第23页
   ·超声加工工件去除形式第23页
   ·超声波的空化现象以及在超声加工中的作用第23-26页
     ·超声波的空化现象第23-24页
     ·超声加工中的空化作用第24-26页
   ·超声加工机理的数学建模第26-35页
     ·超声加工机理第26-30页
     ·加工材料去除率的数学建模第30-31页
     ·超声频率和振幅对加工速度的影响第31-32页
     ·工作压力对加工速度的影响第32页
     ·工具和工件材料的性质对加工速度的影响第32页
     ·磨料对加工速度的影响第32-33页
     ·磨料悬浮液对加工速度的影响第33-34页
     ·影响超声加工精度和表面质量的因素第34-35页
   ·本章小结第35-36页
第三章 超声微精加工试验系统构建与完善第36-51页
   ·超声研磨机第36-37页
   ·精密集成超声加工机第37-38页
   ·设计构建微细超声加工装置第38-48页
     ·超声波发生器第38-39页
     ·超声波换能器第39-40页
     ·超声变幅杆的设计及制作第40-46页
     ·工作台进给运动单元第46-48页
     ·磨料工作液的供给第48页
   ·测量与检测装置第48-50页
     ·精度测量第48页
     ·加工速度的测量第48-49页
     ·微位移的测量与控制第49页
     ·超声振幅的测量第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第四章 微结构工具头设计与制作第51-59页
   ·微细工具头材料选择第51页
   ·制作微细工具的技术要求第51-52页
   ·微细工具长度设计及形状的选择第52页
   ·微细工具头的设计制作第52-58页
     ·微细轴工具头的制作第53页
     ·微细沟槽工具头的制作第53-54页
     ·微细米字型筋工具头的制作第54页
     ·微细台阶圆孔工具头制作第54-55页
     ·圆形微凸起工具头的制作第55-56页
     ·正方形、菱形微凸起工具的制作第56-57页
     ·微细内外齿轮的工具头制作第57-58页
   ·本章小结第58-59页
第五章 加工试验及结果分析第59-76页
   ·微细超声加工试验准备第59-60页
     ·主要试验设备第59页
     ·试验参数选择第59页
     ·试验工件材料第59-60页
     ·磨料悬浮液的选择和供给第60页
   ·试验方案第60-72页
     ·不同工具形状微细超声加工试验第60-62页
     ·不同进给压力微细孔加工试验第62页
     ·选择不同磨料加工试验第62-63页
     ·试验不同变幅杆对加工速度的影响试验第63-64页
     ·圆孔台阶凹槽工具超声加工试验第64-65页
     ·不同材料微细孔超声加工试验第65-66页
     ·微细筋成形试验第66-67页
     ·微细槽成形试验第67-68页
     ·阵列微凹坑超声加工试验第68-70页
     ·不同材料超声微齿轮加工试验第70-71页
     ·传感器压电陶瓷片超声加工应用试验第71-72页
   ·超声复合电加工试验第72-75页
     ·超声研磨机复合电解加工试验第72页
     ·精密超声加工机复合电解加工试验第72-73页
     ·微细超声复合电解加工试验第73-75页
   ·本章小结第75-76页
第六章 结论与展望第76-78页
   ·工作结论第76页
   ·工作展望第76-78页
参考文献第78-82页
致谢第82-83页
攻读硕士学位期间发表的论文第83页

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