基于PSD的主轴回转误差测量系统设计与实验
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 主轴回转误差研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 PSD及回转误差研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 PSD国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 回转误差国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 论文的课题来源 | 第15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 PSD的边缘测量方法及数据处理 | 第17-30页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 PSD的工作原理 | 第17-19页 |
| 2.3 PSD边缘测量方法及其影响因素 | 第19-23页 |
| 2.3.1 PSD边缘测量方法 | 第19-22页 |
| 2.3.2 PSD边缘测量的精度影响因素 | 第22-23页 |
| 2.4 PSD边缘测量的背景光补偿 | 第23-25页 |
| 2.5 PSD边缘测量的非线性标定 | 第25-29页 |
| 2.5.1 分段最小二乘法 | 第25-26页 |
| 2.5.2 BP神经网络 | 第26-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 基于PSD的主轴回转误差测量与误差分离 | 第30-45页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 主轴回转误差介绍 | 第30-31页 |
| 3.3 主轴回转误差分离方法 | 第31-35页 |
| 3.3.1 频域三点法 | 第31-33页 |
| 3.3.2 时域与频域两点法 | 第33-35页 |
| 3.4 误差分离算法仿真 | 第35-39页 |
| 3.4.1 仿真参数设置 | 第35-37页 |
| 3.4.2 仿真结果及分析 | 第37-39页 |
| 3.5 回转误差评定方法 | 第39-44页 |
| 3.5.1 最小外接圆法 | 第40页 |
| 3.5.2 最小外接圆求解流程 | 第40-43页 |
| 3.5.3 仿真及结果分析 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于PSD的主轴回转误差测量系统的设计 | 第45-58页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 测量系统总体设计 | 第45页 |
| 4.3 测量系统硬件选择 | 第45-50页 |
| 4.3.1 PSD及信号处理电路 | 第45-49页 |
| 4.3.2 半导体激光器 | 第49页 |
| 4.3.3 数据采集卡及控制器 | 第49-50页 |
| 4.4 测量系统实现方式及误差分析 | 第50-52页 |
| 4.5 测量系统软件设计 | 第52-57页 |
| 4.5.1 软件总体设计 | 第53-54页 |
| 4.5.2 软件程序设计 | 第54-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 测量实验与分析 | 第58-73页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 PSD边缘测量的背景光补偿实验 | 第58-59页 |
| 5.3 PSD边缘测量的非线性标定实验 | 第59-65页 |
| 5.4 回转误差测量及对比实验 | 第65-72页 |
| 5.4.1 回转误差稳定性实验 | 第65-68页 |
| 5.4.2 回转误差对比实验 | 第68-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及成果 | 第80页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第80页 |
