| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外发展概况及趋势 | 第10-16页 |
| 1.2.1 综合几何误差测量参数辨识法 | 第11-14页 |
| 1.2.2 单项几何误差测量法 | 第14-16页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第16-19页 |
| 第2章 复合特征面几何误差测量方案设计 | 第19-35页 |
| 2.1 激光自准直微小角度和微小位移测量方案 | 第19-30页 |
| 2.1.1 光学自准直原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 角度测量方案分析 | 第20-21页 |
| 2.1.3 激光自准直微小位移测量方案 | 第21-24页 |
| 2.1.4 位移测量方案分析 | 第24-26页 |
| 2.1.5 激光自准直滚转角测量方案 | 第26-29页 |
| 2.1.6 激光自准直测量光路结构设计 | 第29-30页 |
| 2.2 数控机床几何误差测量方案 | 第30-33页 |
| 2.2.1 光学测头 | 第31-32页 |
| 2.2.2 复合特征面阵列基准件 | 第32-33页 |
| 2.3 本章小结 | 第33-35页 |
| 第3章 几何误差测量系统的结构组成 | 第35-53页 |
| 3.1 光路结构设计 | 第35-42页 |
| 3.1.1 光源选择 | 第35-37页 |
| 3.1.2 测量光束的设计与优化 | 第37-42页 |
| 3.2 光斑探测器的选择 | 第42-45页 |
| 3.2.3 位置敏感探测器（PSD） | 第42-43页 |
| 3.2.4 四象限探测器（QPD） | 第43-44页 |
| 3.2.5 电荷耦合器件(CCD) | 第44页 |
| 3.2.6 互补金属氧化物半导体CMOS图像传感器 | 第44-45页 |
| 3.3 测量系统参数计算 | 第45-47页 |
| 3.3.1 系统主要参数的确定 | 第45-46页 |
| 3.3.2 角度测量分辨力及测量范围计算 | 第46页 |
| 3.3.3 位移测量分辨力及测量范围计算 | 第46页 |
| 3.3.4 滚转角测量分辨力及测量范围计算 | 第46-47页 |
| 3.4 光学测头机械结构 | 第47-49页 |
| 3.4.1 整体结构 | 第47-48页 |
| 3.4.2 外壳 | 第48页 |
| 3.4.3 图像传感器安装及调整结构 | 第48-49页 |
| 3.4.4 物镜安装卡座 | 第49页 |
| 3.5 复合特征面阵列基准件机械结构设计 | 第49-51页 |
| 3.5.1 一体式阵列基准件设计 | 第50页 |
| 3.5.2 组合式阵列基准件设计 | 第50-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 光斑位置定位实验研究 | 第53-67页 |
| 4.1 光斑位置评价方法的确定 | 第53-55页 |
| 4.1.1 角度成像光斑的评价 | 第53-54页 |
| 4.1.2 位移成像光斑的评价 | 第54-55页 |
| 4.2 光斑中心提取 | 第55-62页 |
| 4.2.1 图像预处理 | 第55-60页 |
| 4.2.2 光斑中心定位 | 第60-62页 |
| 4.3 系统软件设计 | 第62-63页 |
| 4.4 光斑中心定位实验 | 第63-66页 |
| 4.4.1 定位精度实验 | 第63-64页 |
| 4.4.2 定位重复性 | 第64-65页 |
| 4.4.3 稳定性实验 | 第65-66页 |
| 4.5 本章小节 | 第66-67页 |
| 第5章 几何误差测量系统测试实验 | 第67-87页 |
| 5.1 系统标定实验 | 第67-78页 |
| 5.1.1 角度测量标定 | 第67-70页 |
| 5.1.2 位移测量功能标定实验 | 第70-72页 |
| 5.1.3 组合式阵列基准件的标定 | 第72-78页 |
| 5.2 系统测量实验 | 第78-84页 |
| 5.2.1 俯仰、横滚角度测量线性及重复性实验 | 第78-79页 |
| 5.2.2 位移测量稳定性实验 | 第79-80页 |
| 5.2.3 位移测量线性实验 | 第80-81页 |
| 5.2.4 位移测量重复性 | 第81页 |
| 5.2.5 滚转角线性实验 | 第81-82页 |
| 5.2.6 滚转角重复性实验 | 第82-83页 |
| 5.2.7 L型组合式基准件测量实验 | 第83-84页 |
| 5.3 本章小节 | 第84-87页 |
| 第6章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 6.1 课题总结 | 第87-88页 |
| 6.2 技术展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第93-95页 |
| 致谢 | 第95页 |