| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 计算机辅助装调的发展及研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 计算机辅助装调的发展历程 | 第8-10页 |
| 1.2.2 计算机辅助装调研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 扫描检测非球面的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 机械探针式检测方法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 激光扫描法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 子孔径拼接检测方法 | 第14-15页 |
| 1.3.4 计算机辅助调整与扫描干涉检测非球面 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助调整方法 | 第17-35页 |
| 2.1 调整方法总述 | 第17页 |
| 2.2 干涉测量和Zernike多项式拟合 | 第17-21页 |
| 2.2.1 干涉测量概述 | 第17-19页 |
| 2.2.2 Zernike多项式 | 第19-21页 |
| 2.3 基于灵敏度矩阵的计算机辅助调整基本原理 | 第21-31页 |
| 2.3.1 灵敏度矩阵 | 第21-25页 |
| 2.3.2 基于灵敏度矩阵的计算机辅助调整基本步骤 | 第25-26页 |
| 2.3.3 基于灵敏度矩阵的计算机辅助调整仿真 | 第26-31页 |
| 2.4 基于干涉测量的灵敏度矩阵求解 | 第31-34页 |
| 2.4.1 基本原理 | 第31-32页 |
| 2.4.2 求解方法的误差预测与消除 | 第32-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 扫描干涉检测非球面 | 第35-45页 |
| 3.1 扫描检测方法 | 第35-40页 |
| 3.1.1 面形重建算法 | 第36-39页 |
| 3.1.2 扫描路径的确定方法 | 第39-40页 |
| 3.2 扫描干涉过程中的计算机辅助调整 | 第40-44页 |
| 3.2.1 调整原理及流程 | 第40-42页 |
| 3.2.2 Zernike拟合区域选择 | 第42-44页 |
| 3.2.3 辅助调整的闭环结构 | 第44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 扫描干涉系统设计 | 第45-57页 |
| 4.1 硬件系统 | 第45-49页 |
| 4.1.1 完整的检测系统 | 第45页 |
| 4.1.2 实验仪器参数 | 第45-49页 |
| 4.2 非球面检测与调整系统的软件设计 | 第49-56页 |
| 4.2.1 软件功能分析 | 第49-50页 |
| 4.2.2 软件各模块分析 | 第50-54页 |
| 4.2.3 软件界面 | 第54-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 扫描干涉检测非球面中的计算机辅助调整实验探究 | 第57-68页 |
| 5.1 扫描干涉检测非球面系统搭建 | 第57-59页 |
| 5.2 计算机辅助调整实验及分析 | 第59-67页 |
| 5.2.1 调整方法的稳定性分析 | 第60-66页 |
| 5.2.2 非球面面形偏差对灵敏度矩阵的影响 | 第66-67页 |
| 5.3 非球面检测结果及分析 | 第67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 全文总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 附录 | 第76页 |