| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第16-36页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-33页 |
| 1.2.1 时间调制型傅里叶变换光谱仪 | 第17-26页 |
| 1.2.2 空间调制型傅里叶变换光谱仪 | 第26-33页 |
| 1.3 论文主要研究内容和结构安排 | 第33-36页 |
| 第2章 傅里叶变换光谱仪的工作原理和理论基础 | 第36-52页 |
| 2.1 传统Michelson干涉仪基本原理 | 第36-37页 |
| 2.2 光的干涉 | 第37-41页 |
| 2.2.1 单色光干涉 | 第37-39页 |
| 2.2.2 复色光干涉 | 第39-41页 |
| 2.3 傅里叶变换原理 | 第41页 |
| 2.4 傅里叶变换红外光谱仪的采样方式 | 第41-42页 |
| 2.5 傅里叶变换光谱仪性能参数 | 第42-47页 |
| 2.5.1 光谱分辨率 | 第42-46页 |
| 2.5.2 噪声 | 第46-47页 |
| 2.5.3 信噪比(SNR) | 第47页 |
| 2.6 傅里叶变换光谱仪的优点 | 第47-50页 |
| 2.7 本章小结 | 第50-52页 |
| 第3章 轻型傅里叶变换红外光谱仪光学结构与工作原理 | 第52-64页 |
| 3.1 轻型傅里叶变换红外光谱仪结构与工作原理 | 第52-54页 |
| 3.2 技术参数 | 第54-55页 |
| 3.2.1 光谱范围 | 第54页 |
| 3.2.2 光谱分辨率 | 第54-55页 |
| 3.2.3 SNR | 第55页 |
| 3.3 探测器 | 第55-61页 |
| 3.3.1 红外探测器分类 | 第55-57页 |
| 3.3.2 探测器的重要参数 | 第57-58页 |
| 3.3.3 探测器的选择 | 第58-61页 |
| 3.4 红外光源 | 第61页 |
| 3.5 准直系统 | 第61页 |
| 3.6 缩束系统 | 第61-62页 |
| 3.7 本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 低阶梯多级微反射镜设计及制作研究 | 第64-88页 |
| 4.1 多级微反射镜的结构参数设计 | 第64-65页 |
| 4.2 厚度依次减半的多层膜沉积法制作32级低阶梯多级微反射镜 | 第65-66页 |
| 4.3 关键工艺技术 | 第66-72页 |
| 4.3.1 光刻技术 | 第66-69页 |
| 4.3.2 镀膜技术 | 第69-72页 |
| 4.4 32级低阶梯多级微反射镜的制作技术研究 | 第72-77页 |
| 4.5 32级多级微反射镜测试 | 第77-79页 |
| 4.5.1 多级微反射镜台阶高度测试 | 第77-78页 |
| 4.5.2 多级微反射镜粗糙度测试 | 第78-79页 |
| 4.6 128级低阶梯多级微反射镜结构参数 | 第79-80页 |
| 4.7 128级低阶梯多级微反射镜制作工艺研究 | 第80-86页 |
| 4.7.1 湿法腐蚀工艺 | 第80-82页 |
| 4.7.2 128级多级微反射镜的工艺研究 | 第82-84页 |
| 4.7.3 128级多级微反射镜的测试 | 第84-86页 |
| 4.8 本章小结 | 第86-88页 |
| 第5章 多级微反射镜的误差分析 | 第88-108页 |
| 5.1 多级微反射镜子阶梯高度误差分析 | 第88-94页 |
| 5.1.1 采用MonteCarlo方法分析子阶梯高度误差 | 第88-90页 |
| 5.1.2 子阶梯高度误差校正 | 第90-94页 |
| 5.2 低阶梯多级微反射镜面型误差分析 | 第94-103页 |
| 5.2.1 面型误差对复原光谱影响的理论计算分析 | 第96-98页 |
| 5.2.2 面型误差对复原光谱影响的模拟仿真分析 | 第98-100页 |
| 5.2.3 面型误差校正 | 第100-103页 |
| 5.3 多级微反射镜倾斜误差分析 | 第103-106页 |
| 5.4 本章小结 | 第106-108页 |
| 第6章 轻型分束器设计制作及干涉系统集成 | 第108-126页 |
| 6.1 轻型分束器的设计 | 第108-115页 |
| 6.1.1 分束器的材料选择 | 第109-111页 |
| 6.1.2 分束器的工艺选择 | 第111-112页 |
| 6.1.3 分束器参数设计 | 第112-115页 |
| 6.2 轻型分束器的制作及测试 | 第115-120页 |
| 6.2.1 轻型分束器的制作流程 | 第115-118页 |
| 6.2.2 轻型分束器的测试 | 第118-120页 |
| 6.3 轻型分束器夹具的设计及加工 | 第120-121页 |
| 6.4 干涉系统的集成及光谱实验 | 第121-125页 |
| 6.4.1 干涉系统的集成 | 第121-123页 |
| 6.4.2 光谱测试 | 第123-125页 |
| 6.5 本章小结 | 第125-126页 |
| 第7章 总结与展望 | 第126-130页 |
| 7.1 总结 | 第126-127页 |
| 7.2 创新点 | 第127-128页 |
| 7.3 展望 | 第128-130页 |
| 参考文献 | 第130-136页 |
| 致谢 | 第136-138页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第138页 |
