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低压射流辅助激光刻蚀碳化硅中射流的影响研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第14-26页
    1.1 研究背景与研究意义第14-15页
    1.2 水与激光复合加工技术国内外发展第15-23页
        1.2.1 水导引激光加工技术第15-19页
        1.2.2 水下激光加工技术第19-22页
        1.2.3 水辅助激光加工技术第22-23页
    1.3 水射流辅助激光加工过程中存在的问题第23-24页
    1.4 本文主要研究内容第24-25页
    1.5 本章小结第25-26页
第二章 低压射流辅助激光加工过程机理研究第26-38页
    2.1 激光与材料相互作用第26-31页
        2.1.1 材料的吸收与反射特性第27-29页
        2.1.2 激光加工过程中能量的传递第29-30页
        2.1.3 激光加工过程中等离子体作用简介第30-31页
    2.2 射流冲击过程作用机理研究第31-36页
        2.2.1 水射流的冲击作用第32-35页
        2.2.2 水射流的冷却作用第35-36页
    2.3 激光加工过程中材料的去除第36-37页
    2.4 本章小结第37-38页
第三章 水射流冲击平板过程以及对流换热过程数值模拟第38-56页
    3.1 射流的理论分析第38-40页
        3.1.1 喷嘴出口射流速度第38-39页
        3.1.2 射流流量计算第39-40页
    3.2 水射流冲击过程数值模拟第40-48页
        3.2.1 计算流体力学技术简介第40-42页
        3.2.2 FLUENT简介第42-43页
        3.2.3 物理模型与网格模型建立第43-44页
        3.2.4 计算模型第44-45页
        3.2.5 边界条件第45-46页
        3.2.6 求解与结果分析第46-48页
    3.3 射流冲击过程对流换热模拟第48-55页
    3.4 本章小结第55-56页
第四章 复合加工过程的数值模拟第56-69页
    4.1 传热问题的基本简介第56-60页
        4.1.1 热辐射第56页
        4.1.2 热对流第56-57页
        4.1.3 热传导第57-59页
        4.1.4 传热问题的定解条件第59-60页
    4.2 低压射流辅助激光加工中温度场模型的建立第60-64页
        4.2.1 低压射流辅助激光加工中传热模型的建立第60页
        4.2.2 低压射流辅助激光加工中的边界条件第60-63页
        4.2.3 低压射流辅助激光刻蚀加工温度场的数值计算方法第63-64页
    4.3 低压射流辅助激光加工中有限元数值仿真模型的建立第64-65页
    4.4 数值模拟结果与分析第65-68页
    4.5 本章小结第68-69页
第五章 低压射流辅助激光刻蚀的实验研究第69-78页
    5.1 实验准备第69-71页
    5.2 实验方案与实验结果的测量第71-72页
    5.3 实验结果与分析第72-77页
    5.4 本章小结第77-78页
第六章 总结与展望第78-80页
参考文献第80-86页
致谢第86-87页
作者简介及读研期间主要科研成果第87页

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