| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 太赫兹技术概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 太赫兹的产生及独特性质 | 第9-10页 |
| 1.1.2 太赫兹技术的应用领域 | 第10页 |
| 1.1.3 太赫兹在通信领域的优势 | 第10-11页 |
| 1.2 RF MEMS技术概述 | 第11-14页 |
| 1.2.1 RF MEMS器件分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 RF MEMS器件发展状况 | 第12-14页 |
| 1.3 太赫兹滤波器概述 | 第14-16页 |
| 1.3.1 太赫兹滤波器件发展状况 | 第14-15页 |
| 1.3.2 双通带太赫兹滤波器的意义 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文主要研究工作和结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 双通带滤波器基础理论 | 第17-28页 |
| 2.1 微波滤波器理论 | 第17-24页 |
| 2.1.1 滤波器的归一化低通原型 | 第17-19页 |
| 2.1.2 Chebyshev响应 | 第19-20页 |
| 2.1.3 滤波器的频率变换 | 第20-22页 |
| 2.1.4 耦合谐振腔带通滤波器 | 第22-24页 |
| 2.2 滤波器的微波电路实现 | 第24-26页 |
| 2.2.1 K变换器 | 第25页 |
| 2.2.2 并联电感耦合波导滤波器 | 第25-26页 |
| 2.3 双通带滤波器的实现 | 第26-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 太赫兹双通带滤波器结构选择与设计 | 第28-46页 |
| 3.1 双通带滤波器设计指标 | 第28-30页 |
| 3.2 太赫兹双通带滤波器设计方案 | 第30-45页 |
| 3.2.1 仿真软件辅助滤波器设计方法 | 第30-35页 |
| 3.2.1 多模谐振腔双通带滤波器设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 E面膜片矩形波导并联结构的太赫兹双通带滤波器设计 | 第36-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 加工误差灵敏度分析与结构优化 | 第46-54页 |
| 4.1 模型误差灵敏度分析 | 第46-49页 |
| 4.1.1 电感膜片厚度 | 第46-47页 |
| 4.1.2 平面线精度 | 第47-48页 |
| 4.1.3 膜片陡直度 | 第48-49页 |
| 4.2 滤波器结构调整 | 第49-53页 |
| 4.2.1 调整滤波器耦合结构 | 第49-52页 |
| 4.2.2 加厚膜片 | 第52-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 MEMS工艺的太赫兹滤波器研制及测试 | 第54-61页 |
| 5.1 MEMS加工工艺 | 第54-56页 |
| 5.1.1 体硅腐蚀技术 | 第54-56页 |
| 5.1.2 表面加工技术 | 第56页 |
| 5.2 太赫兹双通带滤波器加工 | 第56-58页 |
| 5.3 太赫兹双通带滤波器的测试 | 第58-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 在学期间取得的与学位论文相关的研究成果 | 第65-66页 |