等离子体浸没离子注入在太阳能电池中的应用研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 序 | 第9-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 太阳能电池的发展历史与现状 | 第13页 |
| 1.3 离子注入技术在太阳能电池制造中的应用 | 第13-22页 |
| 1.3.1 离子注入概述 | 第14-15页 |
| 1.3.2 等离子体浸没离子注入概述 | 第15-17页 |
| 1.3.3 注入掺杂制备PN结 | 第17-19页 |
| 1.3.4 等离子体浸没离子注入制备黑硅 | 第19-22页 |
| 1.4 本文研究内容和意义 | 第22-24页 |
| 2 晶体硅太阳能电池的基本原理及生产工艺 | 第24-38页 |
| 2.1 晶体硅太阳能电池的基本原理 | 第24-30页 |
| 2.1.1 PN结基本原理 | 第24-25页 |
| 2.1.2 光生伏特效应 | 第25-27页 |
| 2.1.3 太阳能电池的电压—电流特性 | 第27-28页 |
| 2.1.4 太阳能电池的性能表征 | 第28-30页 |
| 2.2 晶体硅太阳能电池的生产工艺 | 第30-38页 |
| 2.2.1 表面制绒 | 第30-31页 |
| 2.2.2 扩散制结 | 第31-32页 |
| 2.2.3 边缘刻蚀 | 第32-33页 |
| 2.2.4 二次清洗 | 第33-34页 |
| 2.2.5 PECVD | 第34-35页 |
| 2.2.6 丝网印刷 | 第35-36页 |
| 2.2.7 高温烧结 | 第36-38页 |
| 3 等离子体浸没离子注入制备PN结 | 第38-58页 |
| 3.1 实验装置 | 第38-40页 |
| 3.2 实验原理 | 第40-43页 |
| 3.2.1 离子注入 | 第40-41页 |
| 3.2.2 退火 | 第41-42页 |
| 3.2.3 方块电阻及其测试方法 | 第42-43页 |
| 3.3 实验设计 | 第43-45页 |
| 3.4 实验内容 | 第45-48页 |
| 3.4.1 离子注入制备PN结 | 第45页 |
| 3.4.2 快速热退火 | 第45-46页 |
| 3.4.3 方块电阻的测试 | 第46-48页 |
| 3.5 数据分析 | 第48-55页 |
| 3.5.1 退火条件分析 | 第48-51页 |
| 3.5.2 注入条件分析 | 第51-55页 |
| 3.5.3 多晶硅与单晶硅注入比较 | 第55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-58页 |
| 4 等离子体浸没离子注入制备黑硅太阳能电池 | 第58-76页 |
| 4.1 等离子体浸没离子注入制备黑硅原理 | 第58-61页 |
| 4.1.1 实验装置 | 第58-59页 |
| 4.1.2 实验原理 | 第59-61页 |
| 4.2 黑硅制备后表面湿法去损的研究 | 第61-65页 |
| 4.2.1 湿法去损原理 | 第61-62页 |
| 4.2.2 NaNO_2/HF溶液去损研究 | 第62-65页 |
| 4.3 实验设计 | 第65-67页 |
| 4.4 表征方法 | 第67-68页 |
| 4.5 实验结果及分析 | 第68-75页 |
| 4.5.1 表面微观形貌 | 第68-69页 |
| 4.5.2 表面反射率 | 第69-73页 |
| 4.5.3 外量子效率 | 第73-74页 |
| 4.5.4 太阳能电池性能 | 第74-75页 |
| 4.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 5 结论 | 第76-80页 |
| 5.1 本文的主要工作及结论 | 第76-77页 |
| 5.2 进一步研究的建议 | 第77-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 作者简历 | 第86-90页 |
| 学位论文数据集 | 第90页 |
