硅烷均相裂解产物形态、结构和组成的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 立题背景 | 第12-23页 |
| 1.1.1 能源现状，环境危机 | 第12-14页 |
| 1.1.2 太阳能的开发和应用 | 第14-16页 |
| 1.1.3 多晶硅的生产和市场 | 第16-21页 |
| 1.1.4 硅烷热裂解 | 第21-23页 |
| 1.2 非晶硅 | 第23-25页 |
| 1.2.1 简介 | 第23页 |
| 1.2.2 性质及特点 | 第23-24页 |
| 1.2.3 优缺点 | 第24页 |
| 1.2.4 应用 | 第24-25页 |
| 1.2.5 制备 | 第25页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 反应设备 | 第26-33页 |
| 2.1 装置流程图 | 第26-27页 |
| 2.2 设备参数 | 第27-28页 |
| 2.2.1 空管反应器部分 | 第27-28页 |
| 2.2.2 其它附属设备及配件 | 第28页 |
| 2.3 流量计的校正 | 第28-31页 |
| 2.4 操作简介 | 第31-33页 |
| 第三章 实验部分 | 第33-38页 |
| 3.1 实验药品 | 第33页 |
| 3.2 实验仪器 | 第33页 |
| 3.3 硅烷混合气计算 | 第33-38页 |
| 3.3.1 硅烷气浓度标定 | 第33-34页 |
| 3.3.2 硅烷混合气密度与黏度的计算 | 第34-38页 |
| 第四章 实验条件的选择与设定 | 第38-43页 |
| 4.1 反应温度 | 第38-40页 |
| 4.2 反应气量 | 第40-41页 |
| 4.3 硅烷浓度 | 第41页 |
| 4.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第五章 产物的表征 | 第43-45页 |
| 5.1 非晶硅的微观形态分析 | 第43页 |
| 5.2 非晶硅的 Si-H 结构分析 | 第43-44页 |
| 5.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第六章 实验结果与讨论 | 第45-59页 |
| 6.1 反应条件对反应转化率及产物表观形貌的影响 | 第45-49页 |
| 6.1.1 450℃反应 | 第45页 |
| 6.1.2 500℃反应 | 第45-48页 |
| 6.1.3 550℃反应 | 第48-49页 |
| 6.2 反应条件对产物微观形貌的影响 | 第49-53页 |
| 6.2.1 反应温度 | 第49-50页 |
| 6.2.2 操作气量 | 第50-51页 |
| 6.2.3 硅烷浓度 | 第51-53页 |
| 6.3 非晶硅产物微观形貌的观察 | 第53-55页 |
| 6.4 反应条件对产物 Si-H 结构的影响 | 第55-57页 |
| 6.4.1 反应温度 | 第55页 |
| 6.4.2 操作气量 | 第55-56页 |
| 6.4.3 硅烷浓度 | 第56-57页 |
| 6.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第七章 结论与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-66页 |
