缺锂铌酸锂钛扩散平面光波导的制备及光学表征
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 光波导 | 第9-10页 |
| 1.3 光波导的分类及各类的特点 | 第10-12页 |
| 1.3.1 按结构分 | 第10-12页 |
| 1.3.2 按材料分类 | 第12页 |
| 1.3.3 按周围介质分类 | 第12页 |
| 1.3.4 其它分类 | 第12页 |
| 1.4 铌酸锂简介 | 第12-14页 |
| 1.4.1 Li_2O-Nb_2O_5 相图 | 第13-14页 |
| 1.4.2 铌酸锂的光学特性 | 第14页 |
| 1.4.3 铌酸锂的掺杂 | 第14页 |
| 1.5 本文的工作 | 第14-16页 |
| 第二章 平面波导理论基础 | 第16-30页 |
| 2.1 平板光波导的线光学模型 | 第16-19页 |
| 2.1.1 平板波导的结构 | 第16-17页 |
| 2.1.2 平板波导的模式 | 第17-18页 |
| 2.1.3 平板波导的导模 | 第18-19页 |
| 2.2 平板波导的电磁理论 | 第19-23页 |
| 2.2.1 平板波导的波动方程 | 第19-21页 |
| 2.2.2 导模的场分布和模式本征方程 | 第21-23页 |
| 2.3 渐变折射率波导 | 第23-28页 |
| 2.3.1 WKB 法近似 | 第23-27页 |
| 2.3.2 反WKB 法 | 第27-28页 |
| 2.4 有效折射率 | 第28-30页 |
| 第三章 气相输运平衡基本原理 | 第30-36页 |
| 3.1 气相输运平衡简介 | 第30-31页 |
| 3.2 缺锂VTE 的过程 | 第31-32页 |
| 3.2.1 缺锂相坩埚的制备 | 第31-32页 |
| 3.2.2 缺锂VTE 具体操作 | 第32页 |
| 3.3 表征铌酸锂组分的方法 | 第32-34页 |
| 3.4 缺锂LiNbO_3 的晶相 | 第34页 |
| 3.5 VTE 的作用 | 第34-36页 |
| 第四章 钛扩散 | 第36-49页 |
| 4.1 制备铌酸锂光波导的扩散方法 | 第36-37页 |
| 4.1.1 Li_2O 外扩 | 第36页 |
| 4.1.2 金属扩散 | 第36页 |
| 4.1.3 离子交换 | 第36页 |
| 4.1.4 质子交换 | 第36-37页 |
| 4.2 扩散理论 | 第37-39页 |
| 4.2.1 菲克第一定律 | 第37-38页 |
| 4.2.2 菲克第二定律 | 第38-39页 |
| 4.3 钛扩散光波导 | 第39-42页 |
| 4.3.1 钛扩散过程 | 第39-41页 |
| 4.3.2 湿氧气氛中的钛扩散 | 第41-42页 |
| 4.4 钛扩散LiNbO_3 光波导的扩散参数 | 第42-44页 |
| 4.4.1 扩散深度 | 第42页 |
| 4.4.2 钛的浓度分布 | 第42-44页 |
| 4.5 折射率的变化 | 第44-49页 |
| 4.5.1 表面折射率的变化 | 第44页 |
| 4.5.2 折射率的测量 | 第44-49页 |
| 第五章 实验过程及分析 | 第49-66页 |
| 5.1 实验过程 | 第49-57页 |
| 5.1.1 基片的清洗 | 第49页 |
| 5.1.2 VTE 处理 | 第49-50页 |
| 5.1.3 组分的测量 | 第50-52页 |
| 5.1.4 制备钛膜 | 第52-53页 |
| 5.1.5 钛扩散 | 第53-55页 |
| 5.1.6 光波导的表征 | 第55-57页 |
| 5.2 实验数据分析 | 第57-66页 |
| 5.2.1 高斯模型 | 第57-60页 |
| 5.2.2 表面折射率变化 | 第60-61页 |
| 5.2.3 组分与扩散系数的关系 | 第61-62页 |
| 5.2.4 理论计算 | 第62-66页 |
| 第六章 总结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
