| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2 ZnO的基本结构和基本性能 | 第14-21页 |
| 1.2.1 ZnO的基本结构 | 第14-15页 |
| 1.2.2 ZnO的基本性能 | 第15-21页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 样品的制备及其表征技术 | 第23-30页 |
| 2.1 溶胶-凝胶法的基本原理 | 第23-24页 |
| 2.2 样品的制备过程 | 第24-26页 |
| 2.2.1 仪器和试剂 | 第24-25页 |
| 2.2.2 基底的清洗 | 第25页 |
| 2.2.3 样品的制备过程 | 第25-26页 |
| 2.3 样品的表征技术 | 第26-30页 |
| 2.3.1 X-射线衍射仪（XRD） | 第26-27页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第27页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜（TEM） | 第27-28页 |
| 2.3.4 紫外-可见-近红外分光光度计（UV-Vis-NIR） | 第28页 |
| 2.3.5 光致发光谱（Photoluminescence spectroscopy） | 第28-29页 |
| 2.3.6 拉曼光谱（Raman spectroscopy） | 第29-30页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜 | 第30-61页 |
| 3.1 溶胶浓度对AZO薄膜性能的影响 | 第31-39页 |
| 3.1.1 样品的结构分析 | 第31-33页 |
| 3.1.2 样品的形貌分析 | 第33-35页 |
| 3.1.3 样品的光学性能分析 | 第35-37页 |
| 3.1.4 样品的光致发光性能分析 | 第37-39页 |
| 3.2 Al掺杂浓度对AZO薄膜性能的影响 | 第39-45页 |
| 3.2.1 样品的结构分析 | 第40-41页 |
| 3.2.2 样品的形貌分析 | 第41-42页 |
| 3.2.3 样品的光学性能分析 | 第42-44页 |
| 3.2.4 样品的光致发光性能分析 | 第44-45页 |
| 3.3 退火温度对AZO薄膜性能的影响 | 第45-52页 |
| 3.3.1 样品的结构分析 | 第45-47页 |
| 3.3.2 样品的形貌分析 | 第47-48页 |
| 3.3.3 样品的光学性能分析 | 第48-50页 |
| 3.3.4 样品的光致发光性能分析 | 第50-52页 |
| 3.4 薄膜厚度对AZO薄膜性能的影响 | 第52-59页 |
| 3.4.1 样品的结构分析 | 第52-54页 |
| 3.4.2 样品的形貌分析 | 第54-56页 |
| 3.4.3 样品的光学性能分析 | 第56-57页 |
| 3.4.4 样品的光致发光性能分析 | 第57-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 溶胶-凝胶法制备Mg-Al共掺杂ZnO薄膜 | 第61-91页 |
| 4.1 溶胶浓度对Mg-Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第62-68页 |
| 4.1.1 样品的结构分析 | 第62-64页 |
| 4.1.2 样品的形貌分析 | 第64-66页 |
| 4.1.3 样品的光学性能分析 | 第66-67页 |
| 4.1.4 样品的光致发光性能分析 | 第67-68页 |
| 4.2 Al掺杂浓度对Mg-Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第68-75页 |
| 4.2.1 样品的结构分析 | 第68-70页 |
| 4.2.2 样品的形貌分析 | 第70-72页 |
| 4.2.3 样品的光学性能分析 | 第72-73页 |
| 4.2.4 样品的光致发光性能分析 | 第73-75页 |
| 4.3 退火温度对Mg-Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第75-83页 |
| 4.3.1 样品的结构分析 | 第75-77页 |
| 4.3.2 样品的形貌分析 | 第77-79页 |
| 4.3.3 样品的拉曼光谱分析 | 第79-80页 |
| 4.3.4 样品的光学性能分析 | 第80-81页 |
| 4.3.5 样品的光致发光性能分析 | 第81-83页 |
| 4.4 薄膜厚度对Mg-Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响 | 第83-89页 |
| 4.4.1 样品的结构分析 | 第83-85页 |
| 4.4.2 样品的形貌分析 | 第85-86页 |
| 4.4.3 样品的光学性能分析 | 第86-88页 |
| 4.4.4 样品的光致发光性能分析 | 第88-89页 |
| 4.5 本章小结 | 第89-91页 |
| 第五章 MAZO/ZnO和MAZO/AZO多层薄膜的制备研究 | 第91-107页 |
| 5.1 MAZO/ZnO多层薄膜结构性能的制备研究 | 第91-98页 |
| 5.1.1 样品的结构分析 | 第92-93页 |
| 5.1.2 样品的形貌分析 | 第93-95页 |
| 5.1.3 样品的光学性能分析 | 第95-97页 |
| 5.1.4 样品的光致发光性能分析 | 第97-98页 |
| 5.2 MAZO/AZO多层薄膜结构性能的制备研究 | 第98-105页 |
| 5.2.1 样品的结构分析 | 第99-100页 |
| 5.2.2 样品的形貌分析 | 第100-102页 |
| 5.2.3 样品的光学性能分析 | 第102-104页 |
| 5.2.4 样品的光致发光性能分析 | 第104-105页 |
| 5.3 本章小结 | 第105-107页 |
| 第六章 改进Pechini法制备Mg掺杂ZnO薄膜 | 第107-130页 |
| 6.1 Mg掺杂浓度对MgZnO薄膜性能的影响 | 第108-116页 |
| 6.1.1 样品的结构与成分分析 | 第109-112页 |
| 6.1.2 样品的形貌分析 | 第112-113页 |
| 6.1.3 样品的光学性能分析 | 第113-115页 |
| 6.1.4 样品的光致发光性能分析 | 第115-116页 |
| 6.2 溶液浓度对MgZnO薄膜性能的影响 | 第116-122页 |
| 6.2.1 样品的结构分析 | 第116-118页 |
| 6.2.2 样品的形貌分析 | 第118-119页 |
| 6.2.3 样品的光学性能分析 | 第119-121页 |
| 6.2.4 样品的光致发光性能分析 | 第121-122页 |
| 6.3 退火温度对MgZnO薄膜性能的影响 | 第122-127页 |
| 6.3.1 样品的结构分析 | 第122-124页 |
| 6.3.2 样品的形貌分析 | 第124-125页 |
| 6.3.3 样品的光学性能分析 | 第125-126页 |
| 6.3.4 样品的光致发光性能分析 | 第126-127页 |
| 6.4 本章小结 | 第127-130页 |
| 第七章 结论与展望 | 第130-133页 |
| 7.1 结论 | 第130-131页 |
| 7.2 展望 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-146页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第146-148页 |
| 致谢 | 第148页 |
