| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 类金刚石薄膜 | 第11-14页 |
| 1.2.2 金刚石薄膜 | 第14-18页 |
| 1.3 本文研究意义与研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 实验方案 | 第20-30页 |
| 2.1 薄膜制备工艺 | 第20-24页 |
| 2.1.1 带有不同厚度Cr过渡层的ta-C膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.1.2 带有不同厚度TiC过渡单层的金刚石膜的制备 | 第21-23页 |
| 2.1.3 含厚SiC间隔层的超厚金刚石膜的制备 | 第23-24页 |
| 2.2 薄膜表征方法 | 第24-30页 |
| 2.2.1 微观形貌 | 第24-26页 |
| 2.2.2 结构及成分分析 | 第26-28页 |
| 2.2.3 摩擦学性能表征 | 第28-30页 |
| 第三章 铬间隔层厚度对ta-C膜的结构和性能影响研究 | 第30-38页 |
| 3.1 断面形貌 | 第30-31页 |
| 3.2 XRD谱图 | 第31-32页 |
| 3.3 Raman谱图 | 第32-33页 |
| 3.4 铬间隔层厚度对ta-C薄膜纳米硬度的影响 | 第33-34页 |
| 3.5 铬间隔层厚度对ta-C薄膜结合力的影响 | 第34-35页 |
| 3.6 铬间隔层厚度对ta-C薄膜耐冲击性能的影响 | 第35-36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 不同厚度钛间隔层的碳化对金刚石膜的结构和性能影响研究 | 第38-47页 |
| 4.1 XRD谱图 | 第38-40页 |
| 4.2 断面和表面形貌 | 第40-43页 |
| 4.3 拉曼光谱 | 第43-44页 |
| 4.4 摩擦学性能 | 第44页 |
| 4.5 磨痕形貌 | 第44-46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 利用适宜厚度的间隔层来制备厚金刚石薄膜的研究 | 第47-54页 |
| 5.1 XRD谱图 | 第47-48页 |
| 5.2 断面和表面形貌 | 第48-50页 |
| 5.3 拉曼光谱 | 第50-51页 |
| 5.4 摩擦学性能 | 第51-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 个人简历 | 第62-63页 |
| 在学期间研究成果 | 第63页 |
