| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第12-17页 |
| 1.1.1 半导体产业概述 | 第12-14页 |
| 1.1.2 晶圆制造工艺 | 第14-17页 |
| 1.2 组合设备调度问题概述 | 第17-20页 |
| 1.2.1 组合设备 | 第17-18页 |
| 1.2.2 组合设备调度问题的国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 本文的章节安排 | 第20-21页 |
| 1.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 单臂组合设备的Petri网建模 | 第22-30页 |
| 2.1 Petri网 | 第22-26页 |
| 2.1.1 Petri网的提出及发展 | 第22-23页 |
| 2.1.2 Petri网模型的特点 | 第23-24页 |
| 2.1.3 Petri网的基本理论 | 第24-26页 |
| 2.2 单臂组合设备的Petri网建模 | 第26-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 带时间约束的组合设备的暂态过程分析 | 第30-39页 |
| 3.1 Earliest调度策略 | 第30-34页 |
| 3.1.1 基于Earliest调度策略的暂态过程描述 | 第30-31页 |
| 3.1.2 基于Earliest调度策略,稳态时机械手等待时间的分布规律 | 第31-34页 |
| 3.2 控制机械手等待时间的调度策略 | 第34-36页 |
| 3.3 两种调度策略的实施方法 | 第36-37页 |
| 3.4 两种调度策略的对比 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 基于eM-Plant的单臂组合设备加工过程仿真 | 第39-58页 |
| 4.1 离散事件系统概论 | 第39-40页 |
| 4.1.1 系统及系统建模 | 第39页 |
| 4.1.2 离散事件系统 | 第39-40页 |
| 4.2 离散事件系统仿真 | 第40-43页 |
| 4.2.1 离散事件系统仿真简述 | 第40-41页 |
| 4.2.2 离散事件系统仿真建模方法 | 第41-42页 |
| 4.2.3 离散事件系统仿真步骤 | 第42-43页 |
| 4.3 系统仿真软件cM-Plant | 第43-44页 |
| 4.4 仿真模型框架 | 第44-46页 |
| 4.5 仿真系统的控制 | 第46-57页 |
| 4.5.1 晶圆进出PM控制策略 | 第47-50页 |
| 4.5.2 机械手的控制策略 | 第50-54页 |
| 4.5.3 仿真模型的数据输入和收集 | 第54-57页 |
| 4.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 实例应用 | 第58-68页 |
| 5.1 实例一 | 第58-60页 |
| 5.2 实例二 | 第60-62页 |
| 5.3 实例三 | 第62-65页 |
| 5.4 实例四 | 第65-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 总结与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
