| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 气体质量流量计的国内外发展 | 第12-16页 |
| 1.2.1 国内外发展概况 | 第12-16页 |
| 1.2.2 国内外现状调研 | 第16页 |
| 1.3 气体质量流量控制器的分类及特点 | 第16-18页 |
| 1.3.1 气体质量流量控制器的分类 | 第16-17页 |
| 1.3.2 差压式质量流量控制器的特点 | 第17-18页 |
| 1.4 差压式气体质量流量控制器的应用 | 第18-19页 |
| 1.5 本课题研究内容及结构安排 | 第19-21页 |
| 第2章 差压式气体质量流量控制器的原理 | 第21-35页 |
| 2.1 流速和流量 | 第21-22页 |
| 2.2 传统差压式气体质量流量控制器工作原理 | 第22-25页 |
| 2.3 新型差压式质量流量计的工作原理 | 第25-28页 |
| 2.4 差压式气体质量流量控制器中层流元件结构原理 | 第28-31页 |
| 2.5 传感器的选择 | 第31-34页 |
| 2.5.1 差压传感器的选择 | 第31-32页 |
| 2.5.2 压力传感器的选择 | 第32-33页 |
| 2.5.3 温度传感器的选择 | 第33-34页 |
| 2.6 小结 | 第34-35页 |
| 第3章 硬件系统的设计与实现 | 第35-59页 |
| 3.1 硬件系统的总体设计 | 第35-36页 |
| 3.2 信号采集模块 | 第36-39页 |
| 3.2.1.差压传感器的电路设计 | 第36-37页 |
| 3.2.2 压力传感器电路设计与实现 | 第37-38页 |
| 3.2.3 温度传感器电路设计与实现 | 第38-39页 |
| 3.3 运算模块 | 第39-53页 |
| 3.3.1 A/D模数转换器 | 第40-43页 |
| 3.3.2 MCU微控制单元 | 第43-48页 |
| 3.3.3 点阵液晶显示器 | 第48-50页 |
| 3.3.4 系统复位与按键电路 | 第50-53页 |
| 3.4 通讯模块 | 第53-55页 |
| 3.4.1 MODBUS协议简介 | 第53-54页 |
| 3.4.2 通信模块设计框图 | 第54-55页 |
| 3.5 控制模块的设计与实现 | 第55-57页 |
| 3.5.1 阀控电路的设计与实现 | 第55-56页 |
| 3.5.2 电磁调节阀的机械结构与实现 | 第56页 |
| 3.5.3 电磁调节阀工作原理 | 第56-57页 |
| 3.6 PCB元件布局 | 第57-58页 |
| 3.7 小结 | 第58-59页 |
| 第4章 软件系统的设计与实现 | 第59-70页 |
| 4.1 Keil C51集成编译环境简介 | 第59-60页 |
| 4.2 软件系统总体设计流程图 | 第60-61页 |
| 4.3 A/D转换 | 第61-63页 |
| 4.4 流量计算 | 第63-65页 |
| 4.5 控制功能 | 第65-66页 |
| 4.6 按键和显示功能 | 第66-67页 |
| 4.7 流量输出功能 | 第67-68页 |
| 4.8 通信功能 | 第68页 |
| 4.9 小结 | 第68-70页 |
| 第5章 气体质量流量控制器的测试 | 第70-76页 |
| 5.1 测试系统组成 | 第71页 |
| 5.2 流量校准实验 | 第71-73页 |
| 5.2.1 准确度、线性精度 | 第71页 |
| 5.2.2 测量方法 | 第71-72页 |
| 5.2.3 测量结果 | 第72页 |
| 5.2.4 测量结论 | 第72-73页 |
| 5.3 响应时间测试 | 第73-74页 |
| 5.3.1 响应时间 | 第73页 |
| 5.3.2 响应时间测量方法 | 第73页 |
| 5.3.3 测量结果 | 第73页 |
| 5.3.4 测量结论 | 第73-74页 |
| 5.4 温度漂移测试 | 第74-75页 |
| 5.4.1 温度漂移 | 第74页 |
| 5.4.2 温度漂移测量方法 | 第74页 |
| 5.4.3 测量结果 | 第74页 |
| 5.4.4 测量结论 | 第74-75页 |
| 5.5 小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 附录 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |