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变焦表面形貌测量算法及软件系统研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第8-13页
    1.1 课题来源第8页
    1.2 课题目的和意义第8-9页
    1.3 国内外概况及发展趋势第9-12页
    1.4 本文的主要研究内容第12-13页
2 变焦表面形貌测量仪器原理第13-17页
    2.1 变焦表面形貌测量光学原理第13-15页
    2.2 变焦表面形貌测量系统工作原理第15-16页
    2.3 本章小结第16-17页
3 变焦表面形貌测量恢复算法第17-29页
    3.1 现有的变焦表面形貌恢复算法分析第17-24页
    3.2 改进的变焦表面恢复算法第24-28页
    3.3 本章小结第28-29页
4 基于置信度评价的三维高斯稳健滤波第29-42页
    4.1 稳健高斯滤波第29-36页
    4.2 基于变焦恢复表面置信度评定的稳健高斯滤波第36-40页
    4.3 本章小结第40-42页
5 软件系统设计第42-49页
    5.1 软件系统框架及界面设计第42-45页
    5.2 软件系统实现方法及功能模块第45-48页
    5.3 本章小结第48-49页
6 测试实验第49-54页
    6.1 精度测试第49-52页
    6.2 测试实例第52-53页
    6.3 本章小结第53-54页
7 总结与展望第54-56页
    7.1 总结第54页
    7.2 展望第54-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-61页
附录Ⅰ 攻读硕士期间成果第61页

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