变焦表面形貌测量算法及软件系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外概况及发展趋势 | 第9-12页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 2 变焦表面形貌测量仪器原理 | 第13-17页 |
| 2.1 变焦表面形貌测量光学原理 | 第13-15页 |
| 2.2 变焦表面形貌测量系统工作原理 | 第15-16页 |
| 2.3 本章小结 | 第16-17页 |
| 3 变焦表面形貌测量恢复算法 | 第17-29页 |
| 3.1 现有的变焦表面形貌恢复算法分析 | 第17-24页 |
| 3.2 改进的变焦表面恢复算法 | 第24-28页 |
| 3.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 4 基于置信度评价的三维高斯稳健滤波 | 第29-42页 |
| 4.1 稳健高斯滤波 | 第29-36页 |
| 4.2 基于变焦恢复表面置信度评定的稳健高斯滤波 | 第36-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-42页 |
| 5 软件系统设计 | 第42-49页 |
| 5.1 软件系统框架及界面设计 | 第42-45页 |
| 5.2 软件系统实现方法及功能模块 | 第45-48页 |
| 5.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 6 测试实验 | 第49-54页 |
| 6.1 精度测试 | 第49-52页 |
| 6.2 测试实例 | 第52-53页 |
| 6.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 7 总结与展望 | 第54-56页 |
| 7.1 总结 | 第54页 |
| 7.2 展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间成果 | 第61页 |