| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1.绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景与意义 | 第8-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 2.穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统误差模型 | 第14-24页 |
| 2.1 穆勒矩阵椭偏仪基本原理与系统模型 | 第14-15页 |
| 2.2 穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统误差来源 | 第15-18页 |
| 2.3 穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统误差传递 | 第18-21页 |
| 2.4 穆勒矩阵椭偏仪测量结果仿真分析 | 第21-22页 |
| 2.5 对穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统控制精度的要求 | 第22-23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 3.穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统设计与实现 | 第24-46页 |
| 3.1 穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统需求 | 第24页 |
| 3.2 系统控制方案的对比与选择 | 第24-32页 |
| 3.3 基于PMAC控制器的直流无刷电机PID环控制 | 第32-37页 |
| 3.4 穆勒矩阵椭偏仪双旋转电机同步的实现 | 第37-41页 |
| 3.5 穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统软件开发 | 第41-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 4.穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统测试与性能分析 | 第46-55页 |
| 4.1 同步控制系统在椭偏仪上的测试及应用环境 | 第46-47页 |
| 4.2 电机Z相脉冲重合度对于穆勒矩阵椭偏仪精度的影响 | 第47-49页 |
| 4.3 穆勒矩阵椭偏仪同步控制系统中电机转动分析 | 第49-51页 |
| 4.4 根据电机转动分析结果对测量进行仿真 | 第51-52页 |
| 4.5 两种跟随误差实验条件下的测量结果验证 | 第52-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 5.总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 全文总结 | 第55页 |
| 5.2 研究展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 攻读硕士期间取得研究成果情况 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
