氧等离子体刻蚀对石墨烯的力学和电学性能影响研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 石墨烯介绍 | 第12-21页 |
| 1.2.1 石墨烯的制备 | 第14-19页 |
| 1.2.2 石墨烯加工 | 第19-21页 |
| 1.3 石墨烯应用进展 | 第21-23页 |
| 1.4 表征石墨烯性能的方式以及影响其性能的因素 | 第23-24页 |
| 1.5 研究的目的与内容 | 第24-25页 |
| 第二章 石墨烯样品制备和结构分析 | 第25-36页 |
| 2.1 样品制备 | 第25页 |
| 2.2 样品改性 | 第25-27页 |
| 2.3 样品形貌表征 | 第27-32页 |
| 2.3.1 光学显微镜表征 | 第27页 |
| 2.3.2 扫描探针显微镜表征 | 第27-32页 |
| 2.4 结果分析 | 第32-35页 |
| 2.5 小结 | 第35-36页 |
| 第三章 氧等离子刻蚀石墨烯的力学性能分析 | 第36-43页 |
| 3.1 摩擦力引言 | 第36-38页 |
| 3.2 摩擦力表征结果 | 第38-39页 |
| 3.3 摩擦力分析 | 第39-42页 |
| 3.4 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 氧等离子刻蚀石墨烯的电学性质研究 | 第43-54页 |
| 4.1 EFM表征 | 第43-47页 |
| 4.1.1 EFM的介绍 | 第43-45页 |
| 4.1.2 EFM表征结果 | 第45-46页 |
| 4.1.3 EFM表征结果分析 | 第46-47页 |
| 4.2 TF Analyzer表征 | 第47-53页 |
| 4.2.1 TF Analyzer分析仪简介 | 第48页 |
| 4.2.2 TF Analyzer分析仪测试结果 | 第48-51页 |
| 4.2.3 TF Analyzer测试结果分析 | 第51-53页 |
| 4.3 小结 | 第53-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 本文总结 | 第54-55页 |
| 5.2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 在学期间研究成果及发表的学术论文 | 第62页 |
