| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 微环谐振腔的材料概述 | 第10-11页 |
| 1.3 微环谐振腔的研究进展 | 第11-16页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第16-19页 |
| 第二章 微环谐振腔的性能研究 | 第19-37页 |
| 2.1 回音壁谐振模（WGM） | 第19-23页 |
| 2.1.1 回音壁谐振模简介 | 第19-20页 |
| 2.1.2 基于回音壁谐振模的结构理论分析 | 第20-22页 |
| 2.1.3 品质因子 | 第22-23页 |
| 2.2 单微环结构的性能研究 | 第23-29页 |
| 2.2.1 单微环耦合单波导（1R1B） | 第23-24页 |
| 2.2.2 单微环耦合单波导（1R1B）特性分析 | 第24-26页 |
| 2.2.3 单微环耦合双波导（1R2B） | 第26-27页 |
| 2.2.4 单微环耦合双波导（1R2B）特性分析 | 第27-29页 |
| 2.3 串联双微环结构（2R1B）的性能研究 | 第29-33页 |
| 2.3.1 串联双微环结构（2R1B）理论 | 第29-31页 |
| 2.3.2 谐振分离特性 | 第31-33页 |
| 2.4 并联双微环结构（2R2B）的性能研究 | 第33-36页 |
| 2.4.1 并联双微环结构（2R2B）理论 | 第33-35页 |
| 2.4.2 耦合诱导透明效应(CRIT) | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微环谐振腔模拟研究 | 第37-53页 |
| 3.1 时域有限差分（FDTD）算法介绍以及模型建立 | 第37-40页 |
| 3.1.1 时域有限差分（FDTD）算法介绍 | 第37-38页 |
| 3.1.2 仿真模型建立 | 第38-40页 |
| 3.2 单微环结构的仿真分析及生物传感应用 | 第40-44页 |
| 3.2.1 1R2B 结构的仿真结果分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 1R2B 结构的生物传感应用 | 第42-44页 |
| 3.3 双微环结构的仿真分析及生物传感应用 | 第44-50页 |
| 3.3.1 2R2B 结构的仿真结果分析 | 第44-49页 |
| 3.3.2 2R2B 结构的生物传感应用 | 第49-50页 |
| 3.4 仿真结果总结 | 第50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-53页 |
| 第四章 基于 SOI 的微环谐振腔设计与加工 | 第53-67页 |
| 4.1 微环谐振腔的版图设计 | 第53-56页 |
| 4.2 微环谐振腔的加工 | 第56-61页 |
| 4.2.1 关键制备工艺介绍 | 第56-59页 |
| 4.2.2 加工步骤 | 第59-61页 |
| 4.3 微环谐振腔的测试 | 第61-65页 |
| 4.3.1 测试平台 | 第61-63页 |
| 4.3.2 测试结果 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 工作总结 | 第67-68页 |
| 5.2 工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第75页 |