| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 地震波加速度传感器的概述 | 第8-16页 |
| 1.2.1 电类地震波加速度传感器 | 第8-11页 |
| 1.2.2 集成光波导传感器 | 第11-16页 |
| 1.3 集成光学加速度的发展趋势 | 第16页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 混合集成三分量地震加速度传感器的结构设计和理论分析 | 第18-30页 |
| 2.1 三分量加速度传感器的总体结构设计及工作原理 | 第18-20页 |
| 2.2 三分量加速度传感器的光弹效应分析 | 第20-23页 |
| 2.3 三分量地震加速度传感器传感特性分析 | 第23-28页 |
| 2.3.1 静态特性分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 动态特性分析 | 第25-28页 |
| 2.4 集成三分量地震波加速度传感器极间耦合分析 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 多模干涉耦合器 | 第30-40页 |
| 3.1 自映像效应 | 第30-31页 |
| 3.2 导模传输分析 | 第31-35页 |
| 3.2.1 普通干涉型MMI光耦合器 | 第33-34页 |
| 3.2.2 配对干涉型MMI光耦合器 | 第34-35页 |
| 3.2.3 对称干涉型MMI光耦合器 | 第35页 |
| 3.3 1×4 MMI分束器设计 | 第35-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 基于MMI的双M-Z干涉仪光场传输分析 | 第40-60页 |
| 4.1 双M-Z干涉仪设计 | 第40-42页 |
| 4.1.1 M-Z干涉仪工作原理 | 第40-41页 |
| 4.1.2 基于MMI双M-Z干涉仪 | 第41-42页 |
| 4.2 单模脊形波导的设计 | 第42-46页 |
| 4.2.1 有效折射率法 | 第42-44页 |
| 4.2.2 单模脊形波导设计及模场仿真 | 第44-46页 |
| 4.3 基于MMI的双M-Z干涉仪结构设计 | 第46-52页 |
| 4.3.1 双M-Z干涉仪结构设计 | 第46-47页 |
| 4.3.2 对称Y分支合束结构设计 | 第47-52页 |
| 4.4 基于MMI的M-Z干涉结构的模拟仿真分析 | 第52-59页 |
| 4.4.1 BPM工作原理 | 第52-55页 |
| 4.4.2 基于MMI的M-Z干涉仪仿真结果及分析 | 第55-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 集成光路制做工艺研究 | 第60-72页 |
| 5.1 质子交换法 | 第60页 |
| 5.2 波导光路的制作工艺研究 | 第60-69页 |
| 5.2.1 基片清洗 | 第61-62页 |
| 5.2.2 光刻 | 第62-64页 |
| 5.2.3 镀铬 | 第64-65页 |
| 5.2.4 质子交换 | 第65-66页 |
| 5.2.5 腐蚀 | 第66-68页 |
| 5.2.6 退火 | 第68-69页 |
| 5.3 结果分析 | 第69-71页 |
| 5.4 小结 | 第71-72页 |
| 第6章 总结 | 第72-73页 |
| 6.1 工作总结 | 第72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第79页 |
