| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 Invar 36低膨胀合金的应用 | 第9-10页 |
| 1.3 Invar 36低膨胀合金加工的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.4 难加工材料分类 | 第11-12页 |
| 1.5 难加工材料的磨削加工性 | 第12-13页 |
| 1.6 本课题的来源及主要意义 | 第13页 |
| 1.7 本课题研究的主要内容 | 第13-14页 |
| 2 Invar 36低膨胀合金的材料特性及构件的变形规律研究 | 第14-35页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 Invar 36低膨胀合金的材料特性 | 第14-16页 |
| 2.2.1 Invar 36低膨胀合金的成分 | 第14-16页 |
| 2.2.2 Invar 36低膨胀合金的物理性能和力学性能 | 第16页 |
| 2.3 Invar 36低膨胀合金与不锈钢变形对比分析 | 第16-20页 |
| 2.3.1 建模 | 第17-18页 |
| 2.3.2 划分单元 | 第18页 |
| 2.3.3 约束、加载与求解 | 第18-20页 |
| 2.4 残余拉应力对变形影响的有限元模拟 | 第20-24页 |
| 2.4.1 模型设计 | 第21页 |
| 2.4.2 分析流程图 | 第21-22页 |
| 2.4.3 分析前处理 | 第22页 |
| 2.4.4 求解 | 第22-24页 |
| 2.5 光刻系统整机装配后典型构件的有限元分析 | 第24-34页 |
| 2.5.1 光刻系统构件的建模 | 第25-28页 |
| 2.5.2 材料属性与实常数 | 第28-29页 |
| 2.5.3 耦合面、耦合线和耦合点的建立 | 第29页 |
| 2.5.4 网格划分 | 第29-31页 |
| 2.5.5 耦合、约束和加载 | 第31-33页 |
| 2.5.6 求解 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 Invar 36低膨胀合金磨削表面质量的试验分析 | 第35-50页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 磨削加工的去除机理 | 第35-36页 |
| 3.3 Invar 36低膨胀合金的可磨削性 | 第36-37页 |
| 3.4 试验方案设计 | 第37-42页 |
| 3.4.1 平面磨削加工 | 第37页 |
| 3.4.2 试验材料和试验设备 | 第37-38页 |
| 3.4.3 试样的热处理工艺 | 第38-40页 |
| 3.4.4 磨削前对砂轮的调整 | 第40页 |
| 3.4.5 表面粗糙度的产生机理 | 第40-41页 |
| 3.4.6 试验用量的选择 | 第41-42页 |
| 3.4.7 磨削用量方案及测量结果 | 第42页 |
| 3.5 磨削用量对表面粗糙度的影响 | 第42-44页 |
| 3.5.1 工件台速度对表面粗糙度的影响 | 第42-43页 |
| 3.5.2 磨削深度对表面粗糙度的影响 | 第43-44页 |
| 3.6 砂轮粒度对表面粗糙度的影响 | 第44-46页 |
| 3.7 表面烧伤和表面划伤 | 第46-49页 |
| 3.7.1 磨削用量的影响 | 第46-48页 |
| 3.7.2 磨削液的影响 | 第48-49页 |
| 3.8 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 Invar 36低膨胀合金磨削过程中磨削力的试验分析 | 第50-64页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 磨削力试验测试系统的选择 | 第50-53页 |
| 4.2.1 测量系统的构成 | 第50-52页 |
| 4.2.2 测量系统误差分析 | 第52-53页 |
| 4.3 试验方案设计 | 第53-55页 |
| 4.4 磨削用量对Invar 36合金磨削力的影响 | 第55-59页 |
| 4.4.1 工件速度对Invar 36合金磨削力的影响 | 第55-56页 |
| 4.4.2 磨削深度对Invar 36合金磨削力的影响 | 第56-59页 |
| 4.5 Invar 36合金磨削时的纵向磨削力 | 第59页 |
| 4.6 Invar 36低膨胀合金与奥氏体不锈钢、45号钢磨削力的对比 | 第59-60页 |
| 4.7 磨削力比F_n/F_t | 第60-62页 |
| 4.8 磨削液对磨削力的影响 | 第62页 |
| 4.9 本章小结 | 第62-64页 |
| 5 结论与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 结论 | 第64-65页 |
| 5.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 附录A 光刻系统有限元分析结果云图 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
